В.Е. Патрикеев, И.Н. Судариков
ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ
МЕТОДОВ КОНТРОЛЯ ФОРМЫ И КАЧЕСТВА
ВЫСОКОТОЧНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ
КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОПТИЧЕСКИХ
ДЕТАЛЕЙ
Рассмотрены методы контроля формы и качества поверхностей
крупногабаритных оптических деталей. <...> Приведена современная
методика измерения параметров неоднородностей профиля оптических поверхностей различных периодов пространственных
частот на основании расчета функции спектральной плотности
мощности PSD(vx, vy). <...> Рассмотрены требования, предъявляемые к
качеству оптических поверхностей высокоточных деталей в соответствии с данной методикой. <...> Проведен анализ существующего интерферометрического оборудования, технические характеристики которого позволяют проводить измерения в выделенных
спектральных диапазонах с необходимой погрешностью. <...> Рассмотрена возможность использования интерферометров
NanoCam Dynamic Profiler (4D Technology) и Intellium H2000
(ESDI) для контроля крупногабаритных оптических деталей. <...> E-mail: baryshnikov@bmstu.ru, yanagladysheva@gmail.com,
ivj@bmstu.ru, denisov_dg@mail.ru
Ключевые слова: интерферометр, метрология, оптическая поверхность, крупногабаритная оптика, шероховатость, волновой фронт,
спектральная плотность мощности. <...> В настоящее время интерферометрические методы контроля оптических поверхностей широко используются на всех технологических стадиях их изготовления: начиная с этапов грубого шлифования
и завершая этапами высокоточной доводки [1, 2]. <...> В применяемой
аппаратуре реализованы различные схемы интерферометрических
измерений, обеспечивающие высокоточный контроль профиля поверхностей широкой номенклатуры оптических деталей с погрешностью, достигающей сотых долей длины волны. <...> Прежде всего это относится
к обоснованию критериев оценки качества оптики крупногабаритных телескопов или активных элементов перспективных лазерных
сред. <...> Среднее квадратическое отклонение (СКО) профиля поверхности каждого сегмента должно быть порядка 0,4…0,5 нм. <...> Разработка <...>