В. М. Стучебников, А. А. Устинов, Ю. С. Нагорнов
ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРНОГО ДРЕЙФА
И НЕЛИНЕЙНОСТЕЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ
ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ КЕРАМИКИ
Аннотация. <...> Рассмотрены тензопреобразователи давления на основе керамики
и полупроводникового чувствительного элемента со структурой кремний на
сапфире. <...> Проведены исследования нелинейности и вариации выходного сигнала, температурного дрейфа керамических преобразователей с использованием различных видов керамики. <...> Температурная погрешность керамических тензопреобразователей оказалась существенно ниже, чем у серийно выпускаемых
преобразователей давления, а точности керамических и серийно выпускаемых
тензопреобразователей сравнимы. <...> Ключевые слова: датчик давления, тензопреобразователь давления, структура
кремний на сапфире. <...> The pressure transducers on ceramic basis and semi-conductor sensing
elements made of heteroepitaxial silicon-on-sapphire structures are considered. <...> The
investigations of non-linearity, of the variation output signal and of the temperature
dependence of the ceramic pressure transducers using different kind of ceramic basis are carried out. <...> Temperature error of ceramic pressure transducers was essentially lower than in the serial pressure transducers. <...> Accuracy of ceramic and the serial transducers are similar. <...> Введение
С 1960-х гг. интенсивно разрабатываются микроэлектронные датчики
механических величин с тензорезисторной мостовой схемой, в которых в качестве чувствительных элементов используются полупроводники. <...> На датчики давления
приходится от 40 до 60 % от общего числа датчиков физических величин
[1, 2]. <...> В России нашли широкое распространение интегральные тензорезисторные преобразователи давления (ТП) с полупроводниковыми чувствительными элементами (ПЧЭ) на основе структур кремний на сапфире (КНС) <...> Эти структуры представляют собой тонкие (0,1–10 мкм) слои монокристаллического кремния на монокристаллическом лейкосапфире (А12О3), выращенные обычно разложением моносилана [4]. <...> ТП на таких структурах
имеют ряд преимуществ перед традиционными кремниевыми тензопреобразователями [3, 5, 6]. <...> Они успешно применяются в построении комплексов
высокоточных <...>