С. Н. Чугунов, И. Б. Мурадов, А. О. Кривенков
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ
СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ
ГАЗОДИНАМИЧЕСКИМ НАПЫЛЕНИЕМ
Аннотация. <...> Рассматривается способ создания сегнетокерамических покрытий
газодинамическим напылением на токопроводящих поверхностях. <...> Предлагается модернизация существующей установки газодинамического напыления
при использовании в качестве шихтового материала сегнетокерамики. <...> Производится оценка физико-механических и электрофизических свойств создаваемых покрытий. <...> Существующие на настоящий момент технологии создания на токопроводящих материалах сегнетоэлектрических пленок не обеспечивают в полной
мере формирование требуемых свойств. <...> 1 Обзор технологий создания сегнетоэлектрических покрытий
В настоящее время для создания сегнетоэлектрических слоев на металлических поверхностях используются следующие технологии: <...> Перечисленные методы получения сегнетоэлектрических пленок имеют
ряд общих недостатков, к числу которых относятся:
150
№ 4 (12), 2009
Технические науки. <...> Машиностроение и машиноведение
– ограниченность массогабаритных показателей изделий, на которых
формируются сегнетоэлектрические пленки, вызванная ростом внутренних
напряжений на границе раздела керамический слой – металлическая подложка (методы 1–12);
– нарушение стехиометрического состава (методы 7–12);
– ограниченность геометрических форм применяемых подложек (методы 1, 2, 5–7, 9, 10);
– необходимость использования подложек, изготовленных из дорогостоящих термо- и коррозионностойких материалов (методы 3–11);
– необходимость дополнительных операций по креплению слоя к подложке ввиду низкой прочности как самой пьезоэлектрической пленки, так и
сцепления ее с подложкой (методы 1, 3, 5, 7–9);
– малая толщина покрытия, что в свою очередь ограничивает величину
пьезоэлектрического модуля (методы 2, 4–12). <...> 2) технология должна обеспечивать возможность формирования сегнетоэлектрических <...>