П. Г. Демидова Кафедра микроэлектроники Материалы электронной техники Лабораторный практикум Рекомендовано Научно-методическим советом университета для студентов, обучающихся по направлению Электроника и наноэлектроника Ярославль 2012 1 УДК 621.3(076.5) ББК З85я73 Р 84 Рекомендовано Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного издания. <...> П. Г. Демидова, 2012 2 Лабораторная работа № 1 Параметры монокристаллических кремниевых пластин Цель работы: изучение основных параметров и маркировки кремниевых пластин, проведение контроля геометрических параметров, определение типа проводимости методом термозонда. <...> Приборы и принадлежности: штангенциркуль, многооборотный индикатор-микрометр, источник питания «Агат», цифровой вольтметр В7-21А, зонд, нагреваемый зонд, набор монокристаллических пластин кремния. <...> Краткая теория работы Полупроводниковые пластины и их параметры Основными исходными материалами электронной техники для изготовления интегральных схем (ИС) являются монокристаллические полупроводниковые пластины круглой формы диаметром 40-300 мм и толщиной 350–1000 мкм из кремния, германия, арсенида галлия, антимонида индия и т. д., на которых методами планарной технологии формируют элементы, имеющие микронные и субмикронные размеры. <...> Для получения, кремниевых приборов и интегральных схем применяемые полупроводниковые пластины должны удовлетворять жестким требованиям по геометрическим размерам, кристаллографической ориентации, электрофизическим параметрам (концентрации и подвижности носителей заряда) и т. д. <...> Для характеристики полупроводниковых пластин производится их маркировка. <...> Первая буква (или две) означают исходный материал (К – кремний, Г – германий, АГ – арсенид галлия), вторая буква – тип проводимости (Э – электронная, Д – дырочная), третья буква (или две) – легирующие элементы (Б – бор, Ф – фосфор, С – сурьма, З – золото, Г – галлий, Ц – цинк, Т – теллур и т. д.) <...> . После буквенного <...>
Материалы_электронной_техники_лабораторный_практикум.pdf
Министерство образования и науки Российской Федерации
Ярославский государственный университет им. П. Г. Демидова
Кафедра микроэлектроники
Материалы электронной техники
Лабораторный практикум
Рекомендовано
Научно-методическим советом университета
для студентов, обучающихся по направлению
Электроника и наноэлектроника
Ярославль 2012
1
Стр.1
УДК 621.3(076.5)
ББК З85я73
Р 84
Рекомендовано
Редакционно-издательским советом университета
в качестве учебного издания. План 2012 года
Рецензент
кафедра микроэлектроники Ярославского государственного
университета им. П. Г. Демидова
Составители: С. П. Зимин, Е. С. Горлачев
Р84
Материалы электронной техники: лабораторный
практикум / сост. С. П. Зимин, Е. С. Горлачев; Яросл. гос.
ун-т им. П. Г. Демидова. – Ярославль, 2012. – 60 с.
В лабораторном практикуме содержатся теоретические
сведения и излагается порядок выполнения лабораторных
работ по дисциплине «Материалы электронной
техники». Выполнено в соответствии с федеральным государственным
образовательным стандартом.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению
210100.62 Электроника и наноэлектроника
(дисциплина «Материалы электронной техники», блок
Б3), очной формы обучения.
УДК 621.3(076.5)
ББК З85я73
© Ярославский государственный университет
им. П. Г. Демидова, 2012
2
Стр.2
Литература
1. Valdes, L. B. Resistivity measurements on germanium for
transistors / L. B. Valdes // Proc. of the IRE. – 1954. – Vol. 42. –
P. 420-427.
2. Батавин, В. В. Измерение параметров полупроводниковых
материалов и структур / В. В. Батавин. – М.: Радио и связь,
1985. – 264 c.
3. Павлов, Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых
материалов / Л. П. Павлов. – М.: Высшая школа, 1987. –
С. 10–32.
Содержание
Лабораторная работа № 1. Параметры монокристаллических
кремниевых пластин ............................................................ 3
Лабораторная работа № 2. Измерение температурного
коэффициента сопротивления резистивных пленок ....... 13
Лабораторная работа № 3. Изучение емкостных свойств
диэлектрических пленок .................................................... 20
Лабораторная работа № 4. Измерение электропроводности
диэлектриков ....................................................................... 27
Лабораторная работа № 5. Исследование гистерезиса
ферромагнетиков в переменном магнитном поле ........... 38
Лабораторная работа № 6. Измерение удельного сопротивления
материалов электроники четырехзондовым методом ..... 49
59
Стр.59