с. 5 - 12ПРИ ОКИСЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
МНОГОКАНАЛЬНЫЕ
РЕАКЦИИ
СЕРИЯ ХИМИЯ
УДК 542.943:621.315.5:541.128
МНОГОКАНАЛЬНЫЕ РЕАКЦИИ ПРИ ХЕМОСТИМУЛИРОВАННОМ
ТЕРМИЧЕСКОМ ОКИСЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ – ТРАНЗИТ,
СОПРЯЖЕНИЕ, КАТАЛИЗ
© 2000 г. И.Я. Миттова
Воронежский государственный университет
Предложены кинетические схемы многоканальных процессов хемостимулированного термического окисления полупроводников. <...> С этих позиций рассмотрим новые процессы хемостимулированного окисления полупроводников,
разработка которых, с одной стороны, важна для решения задач микроэлектроники и ряда других новых
технологий, а с другой – позволяет расширить имеющиеся представления о гетерогенных процессах
типа твердое – газ, твердое – твердое и твердое – жидкость, установить новые эффекты и закономерности
их протекания, обусловленные тонкопленочным состоянием как реагентов, так и продуктов. <...> Установлено [2], что соединения, способные обеспечивать передачу кислорода компонентам окисляемого полупроводника, являются эффективными хемостимуляторами процесса окисления. <...> Если же хемостимулятор не обеспечивает протекания таких реакций, нет смысла говорить о его эффективности по кислороду, однако хемостимулирование может осуществляться за счет других реакций, продукты которых включаются в растущий слой
и обеспечивают прирост его толщины, например [5]: <...> Ряд соединений, термодинамически неспособных
к передаче кислорода в равновесных условиях, тем
не менее, являются активными в исследуемых про-
ВЕСТНИК ВГУ. <...> Однако в процессах
хемостимулированного окисления полупроводников
имеет смысл рассмотрение и метастабильных разрезов с целью связывания продуктов соответствующих
реакций и модификации состава слоев. <...> Итак, термодинамический анализ, прежде всего,
позволяет очертить круг перспективных хемостимуляторов и помогает определить нежелательные процессы, органически свойственные собственному
окислению полупроводников. <...> В этих <...>
Вестник_Воронежского_государственного_университета._Серия_Химия._Биология._Фармация_№2_2000.pdf
№2, 2000 г. | ХИМИЯ, БИОЛОГИЯ
СОДЕРЖАНИЕ:
ХИМИЯ:
• И.Я. Миттова
Многоканальные реакции при хемостимулированном термическом окислении полупроводников -
транзит, сопряжение, катализ
• В.А. Шапошник, О.В. Григорчук
Кинетика деминерализации воды электродиализом с ионообменными мембранами
• Г.В. Семенова
Парофазные равновесия в двойных и тройных системах с участием элементов пятой группы
• Г.В. Шаталов, В.А. Кузнецов
Радикальная полимеризация циклических n-виниламидов с ароматическими гетероциклами
• А.И. Сливкин
Полиурониды. структура, свойства, применение (обзор)
• Х.С. Шихалиев, А.В. Фалалеев, А.С. Соловьев
Молекулярный дизайн азагетероциклов на основе хиназолил-2-гуанидинов
• В.Н. Семенов, А.В. Наумов
Процессы направленного синтеза пленок сульфидов металлов из тиокарбамидных координационных
соединений
• В.Ю. Кондрашин, И.К. Маршаков
Термодинамическая и кинетическая обусловленность механизмов анодного растворения
интерметаллических фаз
• А.Ф.Сидоренко
Коронарогенного метаболического ацидоза в экспериментальной терапии острой коронарной
недостаточности
• А.Ф. Сидоренко, С.И. Кедров
Фармакологическая коррекция ароматерапия: некоторые механизмы терапевтического действия
эфирных масел
• А.И. Сливкин, В.А. Николаевский, В.Л. Лапенко, В.Н. Бузлама, Л.И. Искра
Исследование биологической активности алкенилгликозидов
БИОЛОГИЯ:
• В.Г. Артюхов, В.В. Гусинская, О.М. Дурова
Анализ влияния уф-света на взаимодействие с3 компонента комплемента с его рецепторами на
поверхности мембран эритроцитов человека
• Б.П. Ахтырцев
История антропогенной деградации почв лесостепи в голоцене
Стр.1
• А.Б. Беляев, Н.А. Протасова
Минералы и химические элементы в черноземах центрально-черноземной зоны
• А.К. Буторина, В.Н. Калаев, С.С. Карпова
Цитогенетические эффекты антропогенного загрязнения у детей, проживающих в различных районах г.
Воронежа
• Г.А. Вашанов, В.Г. Артюхов
Физико-химические и функциональные свойства гибридных макромолекул гемоглобина человека
• М.Ю. Грабович, В.Ю. Патрицкая, Г.А. Дубинина, В.В. Чурикова
Литоавтотрофный рост пресноводных нитчатых серобактерий beggiatoa leptomitiformis штамм Д-402
• Т.А. Ковалева
О механизме действия и строении активного центра глюкоамилазы
• В.Д. Логвиновский, Т.В. Кречетова
Жужелицы (соleoptera, carabidae) как объект биоиндикационных исследований в условиях северозапада
россии
• О.П. Негробов
Проблемы региональной стратегии сохранения биоразнообразия
• В.В. Негробов, К.Ф. Хмелев
Современные концепции консорциологии
• А.А. Пантявин, В.Г. Артюхов, Г.А. Вашанов
Модификация физико-химических свойств молекул сывороточного альбумина, индуцированная
вакуумным ультрафиолетовым излучением
• Н.И. Простаков
Байбак или сурок степной (маrмота вовас мull., 1776) в Воронежской области
• С.Г. Резван, В.В. Гусинская, В.Г. Артюхов, Н.А. Стародубцева, В.П. Ситникова, О.А. Жданова, О.А.
Маркушева
Структурные свойства эритроцитов и функциональная активность системы комплемента крови больных
с различными формами нефропатии
• А.П. Салей
К механизму адаптивного натриевого аппетита
• Ю.О. Трухина, Р. Шайбе, А.Т. Епринцев
Влияние солевого стресса на основные физиолого-биохимические параметры растений картофеля
• Л.Н. Хицова, В.Г. Артюхов
Разработка и реализация принципов развивающего обучения в подготовке вузовских специалистов (на
примере биолого-почвенного факультета ВГУ)
• Л.Н. Хицова, С.О. Негробов
Экологические группы нидиколов сурчиных нор в условиях Воронежской области
• Д.И. Щеглов
Морфогенетические показатели черноземов и их трансформация в условиях различного использования
Стр.2
• Л.А. Яблонских
Органическое вещество аллювиальных дерновых насыщенных почв легкого гранулометрического
состава среднерусской лесостепи
Стр.3