Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения: монография / В.М. Гешер, В. <...> БОПЪПТОЭ внимание уделено созданию СОВРЕМЕННЪТХ высокоэффективных
генераторов низкотенпературной плазмы * l'lJ'léBVIOTpOHOBI E-Tl/lnil И Н-типа, гибридных генераторов, a также мнотоканштьных пространственно раснренеленных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические
oncpaLU/m. <...> Низкотемпературная плазма — активатор физико-химических
процессов Особенности плазмообразующих газов . <...> ВЛИЯПИС ЭЛЕКТрОМаГПИТПЫХ колебаний С ра'ЗЛИЧПЫМИ ЧИСТОТПОспектральными характеристиками на низкотснпературную
плазму
Энергетические в здействия на низкотемпературную плазму
детерминированнот многочастотного колебания ТИНЭ. меандр
Обобщенный технологический процесс (модельные представления) 111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111 „
Источники энергообеспечения реакторных комплексов ..... <...> Работа ГЗОС в режимах многочастотной детерминированной
генерации и автоколебательного шумообразования ............ .. <...> В Качестве ОСНОВНЫХ тенденций развития последних можно выделить в первую очередь резкое увеличение реакторных
объемов: плазмохимия и плазмотермия становятся массовым инструментом не только B приборо- и аппаратостроении, но и в агрегатостроении, например в авиационной промышленности. <...> Разнообразие и
рост интенсивности новых плазменных технологий потребовали значительного увеличения удельного и суммарного энерговкладов в реакторы — до 3... <...> Последнее связано c изменениями параметров технологической нагрузки на
протяжении рабочего цикла, что характерно для режима работы ВЧ
(СВЧ) технологического комплекса в отличие от режима, в котором
работают мощные радиопередающие устройства. <...> НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА АКТИВАТОР ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ
Необходимость экономии электрической энергии и высокая
стоимость химреагентов, а также условия их хранения и последующая нейтрализация требуют <...>
Плазменные_высокочастотные_технологии_для_электронного_приборостроения.pdf
'
!
Стр.1
%! "')$"" (
" #
" #
)
DT7I(&' $ &&'!
%! "')$"" (
DT7I(&' $ &&'! $% "
!
!
)
$%
"
)
'
!
! !('
)
0
Стр.2
Hqr
ryrp
rpuvp
Wyr'
W H B@GG@S W 6 FCSVTU6G@W
QG6TH6
CDBC AS@RV@I8`U@8CIPGPBD@T
APS@G@8USPID8
DITUSVH@IUH6FDIB
IPWPTD7DSTF
!
Стр.3
V98%! "')$"" (
B" #
Srvrr
)
Q
s 6 D 6yvsr
09 Tp Qu Hhu
W D F
vurr 8uvrs@tvrr
@x
h PvphyTr pyrp
hv
Bryyr
W H
B" #Qyhh uvtu s
rrp rpuytvr s
ryrp
vp v
r hxvt)
t
hu W H Bryyr
W 6 Fu
hyr !qrqvv
rvrqhq
yrrrq Iviv
x)ITUVQiyvur
! !(' Hqr
ryrp
rpuvp Wy '
DT7I(&' $ &&'!
$%
"
Uurt
hu v qrrq yvt
tr
iyr s p
rhvt uh
qh
r
rpuytvphyhquh
qh
r uvphypyrrhhyvrqhxsryrp
vpv
rhxvt Uurvvhv
iyrsuh
qh
r
syhhrpu
ytvphy
prrvqr
hpv
rhxvtvhyhpxyrqvurix
Uurrpvhvspurvphyyhpvrrqvh vpvqr
rqvu
rth
q rr
t
hqh rpuhtr rvyvi
v yhh 6yvphvruq sSA ryrp
htrvpsvryquhvtrpvhys
rrp rp
hy
r
vrs
p
rhvtutrr
hqhvhyyhqhprqyhhyrh
r
rq
B
rhhrvvtvrqrvtvtuvtuy rssvpvr qhry rr
h
r
yhhpvyyh
hry@ hqC ryhh
ui
vqpvyyh
hryyh
yvpuhryhvhyyqv
virqpvyyh
vyrrh
vrpuytvphy
r
hv Trpvhyhrvvhvqrv
rhyhrpsSAhqVCAyhh
hyvphv
Drsryrrhquh
qh
r
sryrp
rpuytvphy
prri
vt iu hpvr rvpqp
ryrr hq r
sy SA hp qrvpr h
r hq
q
rrqvurt
hu
Uurixphirsvr
rryrp
vprtvrr
qrvtr
hqrpuytv
V98%! "')$"" (
DT7I(&' $ &&'! $% "Bryyr
W H Fu
hyrW 6 !
Iviv
xThrUrpuvphy
Vvr
v !
Стр.4
!
"
#
$
!
"
"
" !
" "
" #
" $
" %
#
#
# !
# "
"(
$%
$%
%&
'&
('
!"
!$
!!
"
(
#
&
(
"
(
(
Стр.5
$
$
$ !
$ "
$ #
%
%
% !
% "
&
&
& !
& "
!!&
!#'
!'!
!'#
! (
! (
'!
'#
(%
'!
""
"#
"'
#!
#$
!($
Стр.6
8PIU@IUT
D
qpv
Grr
h
ryhhhhhpvh
suvphyhqpurvphy
prr
! Qrpyvh
vvrsyhh s
vtthr
" 6pvhvs
prrvrvyvi
vyhh
# @ssrpsryrp
htrvppvyyhvvuqvssr
rs
rrphq
rp
hypuh
hpr
vvpyrr
h
ryhh
$ @r
trssrpsqrr
vrqyvs
rrppvyyhvsurr
hqr
ryrr
h
ryhh
8uhr
! Brr
hyvrqUrpuytvphyQ
pr HqrySr
rrhv
8uhr
" Qr
TyT
prs
Srhp
8yrr
"
Hyvhtrryrp
htrvp
pr
" # 8v
pvruqsh
hrr
vvhvsr
syrys rpvrq
pvyyh
&
8uhr
D
rhqSrhp
Hrqvhs@r
thqHh@puhtr (
(
#
!!
"
"(
$%
" ! 6hyvsurhpvrqv
virqrvtu r
vhyr
xr %&
" " Qyuh
vp
hqv s
rrp
pr
" $ 9ryhrqsrrqihpxpvyyh
r
hvvuryvs
rrpqrr
vvvptrr
hvhqrys pvyyhvtvrtrr
hvqr
" % 6hyvsrssvpvrtrr
hvsSAvr yvxrpvyyhv
8uhr
# QyhhpurvphySrhp
9rvt
#
Srhp
rihrqVCAphv
rh
# ! Ci
vq
rhp
r
# " @rqrqhqqvp
rr qv
virqyhh
rhp
$
8hhpvyhhpvyyh
$ ! Dqpvyhhpvyyh
$ " Ci
vqyhhpvyyh
$ # Hyvpuhryyhhpvyyh
8uhr
$ G Urr
h
r Qyhh Ppvyyh
s
Hqr
D
r
Hhxvt
$%
'&
('
"
(
(
!"
!$
""
"#
"'
#!
#$
Стр.7
8PIU@IUT
8uhr
% 9rvtsQr
TyT
pr s
Srhp
8yrr7hrq
6pvr@yrr
%
Brr
hy
iyrsryrr uh
qh
r
sSAhqVCA
ryrprpuytvr
% ! Qr
syt
vq p
yyrqqrvprs
vq
vhyhyvphv 9rry
r
rq
% " B
vq hv r
xhtr
9rryr
rq
PvvhvsSAr
vh
prr
!(&
'!
'!
'#
(%
8uhr
& SrhyQyhhhqUur
hyQ
prrVrqvD
rHhxvt ! (
&
& ! SAyhr
vh Pvvhvsyr
qr
pvruq !!&
& " Uurrsyrr
h
ryhhvthyhr
! (
!#'
8pyv
Srsr
rpr
!'!
!'#
Стр.8
"
% (
%"
(!
"'" "#% "
%"
(!
'&
hvy)ssvpr5iyvu
!
%
' &$
!&%
!
! ! !
' &$
!&
Стр.9
!
Стр.10
%! "')$"" (
" #
" #
)
%! "')$"" (
DT7I(&' $ &&'! $$( &
!
!
)
DT7I(&' $ &&'! $$( &
)
!
! !('
)
0
Стр.11
Hvv
s@qphvhqTpvrprsurSvhArqr
hv
IPWPTD7DSTFTU6U@U@8CID86GVIDW@STDU`
W H B@GG@S W 6 FCSVTU6G@W
QG6TH6
CDBC AS@RV@I8`U@8CIPGPBD@T
APS@G@8USPID8
DITUSVH@IUH6FDIB
IPWPTD7DSTF
!
Стр.12
V98%! "')$"" (
B" #
Srvrr
)
Q
s 6 D 6yvsr
09 Tp Qu Hhu
W D F
vurr 8uvrs@tvrr
@x
h PvphyTr pyrp
hv
Bryyr
W H
B" #Qyhh uvtu s
rrp rpuytvr s
ryrp
vp v
r hxvt)
t
hu W H Bryyr
W 6 Fu
hyr !qrqvv
rvrqhq
yrrrq Iviv
x) ITUV Qiyvur
! !(' ITUV
Ht
hur
vr
DT7I(&' $ &&'! $$( &
Uurt
hu v qrrq yvt
tr
iyr s p
rhvt uh
qh
r
rpuytvphyhquh
qh
r uvphypyrrhhyvrqhxsryrp
vpv
rhxvt Uurvvhv
iyrsuh
qh
r
syhhrpu
ytvphy
prrvqr
hpv
rhxvtvhyhpxyrqvurix
Uurrpvhvspurvphyyhpvrrqvhvpvqr
rqvu
rth
qrr
t
hqh rpuhtr rvyvi
v yhh 6yvphvruq sSA ryrp
htrvpsvryquhvtrpvhys
rrp rp
hy
r
vrs
p
rhvtutrr
hqhvhyyhqhprqyhhyrh
r
rq
B
rhhrvvtvrqrvtvtuvtuy rssvpvr qhry rr
h
r
yhhpvyyh
hry@ hqC ryhh
ui
vqpvyyh
hryyh
yvpuhryhvhyyqv
virqpvyyh
vyrrh
vrpuytvphy
r
hv Trpvhyhrvvhvqrv
rhyhrpsSAhqVCAyhh
hyvphv
Drsryrrhquh
qh
r
sryrp
rpuytvphy
prri
vt iu hpvrrvpqp
ryrr hq r
sy SA hp qrvpr h
r hq
q
rrqvurt
hu
Uur ix ph ir s vr
r ryrp
vp rtvrr
qrvtr
hq rpuy
tv
V98%! "')$"" (
DDT7I(&' $ &&'! $$( &Bryyr
W H Fu
hyrW 6 !
Iviv
xThrUrpuvphy
Vvr
v !
Стр.13