Энтропийные модели микро- и наноструктур (190,00 руб.)

Стр.1

Стр.2

Стр.3

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ «САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ имени академика С.П. КОРОЛЕВА» ЭНТРОПИЙНЫЕ МОДЕЛИ МИКРО- И НАНОСТРУКТУР Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия С А М А Р А Издательство СГАУ 2007

Стр.1

УДК 535.42 ББК 22.343 В676 Инновационная образовательная программа "Развитие центра компетенции и подготовка специалистов мирового уровня в области аэрокосмических и геоинформационных технологий" Рецензенты: д-р физ.-мат. наук, профессор В.В. Ивахник, д-р физ.-мат. наук, профессор И.П Завершинский Волков А.В. В 676 Энтропийные модели микро- и наноструктур: учеб.пособие / А.В. Волков, И.Н. Еремина, А.Г. Саноян – Самара: Изд-во Самар. гос. аэрокосм. ун-та, 2007. – 80 с.: ил. ISBN 978-5-7883-0605-6 Технология создания микро- и наноустройств рассматривается как комплекс мер, направленных на повышение вероятности размещения определенных типов атомов в заданных точках физического пространства. Вероятностный подход при рассмотрении технологической проблематики реализован с позиций методологии теории информации. Предложены энтропийные критерии оценки качества микрои нанотехнологий, позволяющие сформировать требования к технологическим процессам во взаимосвязи со сложностью и выходом годных изделий. Введены в рассмотрение представления об информационном потенциале и дефиците микротехнологий. Приведены результаты количественных оценок энтропийных показателей качества микро- и нанотехнологий и твердотельных структур. Учебное пособие адресовано широкому кругу инженерно-технических работников, связанных по роду своей деятельности с вопросами разработки и создания микро- и наноразмерных устройств. УДК 535.42 ББК 22.343 ISBN 978-5-7883-0605-6 © Волков А.В., Еремина И.Н., Саноян А.Г., 2007 © Самарский государственный аэрокосмический университет, 2007 2 П Р И О Р И Т Т К Е Т О Н Ы Е Н А Ц И О А Н Л Ь Н Ы Е П Р Е Ы

Стр.2

СОДЕРЖАНИЕ Введение.................................................................................................................... 5 1. Информационная энтропия ................................................................................. 8 1.1. Элементы теории информации................................................................... 8 1.1.1. Определение энтропии в случае равновероятных возможностей (дискретный случай) ............................................................................ 8 1.1.2. Энтропия в случае неравновероятных возможностей (дискретный случай) ........................................................................ 10 1.1.3. Энтропия в случае неравновероятных возможностей (непрерывный случай)........................................................................ 13 1.1.4. Асимптотическая равновероятность и энтропийная устойчивость последовательности случайных событий................. 14 1.2. Основы информационной теории измерительных процессов............... 18 1.2.1. Применение основных положений теории информации для характеристики процесса измерения ................................................ 18 1.2.2. Понятие измерения как сужения интервала неопределенности ... 22 1.2.3. Практические методы определения энтропийного значения погрешности измерения..................................................................... 27 1.2.4. Информационная емкость диагностических сигналов измерительного процесса и погрешность измерения...................... 30 1.3. Статистические методы анализа интенсивности протекания элементарных физико-химических процессов......................................... 32 1.3.1. Физическая сущность статистического метода анализа макроскопических систем.................................................................. 32 1.3.2. Активационная модель протекания элементарных физикохимических процессов ....................................................................... 34 1.3.3. Определение концентрации активных частиц................................ 35 1.3.4. Динамическое равновесие элементарных физико-химических процессов............................................................................................. 36 1.3.5. Определение срока службы материалов и изделий на основе статистических методов физической надежности........................... 39 2. Энтропийные модели микро- и нанотехнологий и структур ........................ 41 2.1. Цели и задачи энтропийного подхода ..................................................... 41 2.2. Формальное представление технических объектов и технологии их создания ....................................................................................................... 42 2.3. Показатели качества технологий на микроскопическом уровне рассмотрения............................................................................................... 45 3

Стр.3