Нанотехнологии и наноматериалы (на 2020 год)

Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала — высокое качество продукции». Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу «Технология материалов электронной техники». Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.

Учебное пособие предназначено для студентов 4 курса биолого-почвенного факультета, обучающихся по специальности 06.03.1 «Биология», в рамках дисциплин Б2.В.ОД.9 «Основы бионанотехнологии» и Б3.Б.31 «Введение в биотехнологию»