Нанотехнологии и технические новинки

В учебном пособии рассмотрены основные положения теории расчета погрешностей прямых и косвенных измерений, даны рекомендации по построению графиков измеряемых зависимостей, приведен конкретный пример оформления отчета по лабораторной работе. В приложении даны основы представления результата измерений в современных терминах неопределенности результата.

В методических указаниях даны базовые понятия, определения и представлены основные объекты нанотехнологий в целом и нанохимии в частности.

Приводятся исследования по подготовке поверхности деталей перед нанесением покрытия. Проведен анализ качества поверхности, подготовленной перед нанесением покрытия абразивно-струйным методом. Приводятся результаты исследования зоны на границе между покрытием и поверхностью основного материала, подготовленной абразивно-струйной обработкой. Покрытие наносилось детонационно-газовым методом. Выявлены негативные последствия абразивно-струйной обработки, отрицательно влияющие на качество покрытия. Предложен метод ультразвукового пластического деформирования (УЗПД) в качестве альтернативы абразивно-струйной обработке. Показаны его преимущества с точки зрения формирования более равномерно распределенного и управляемого микрорельефа, отсутствия микротрещин, шаржирования поверхности абразивным материалом, а также возможности управления напряженно-деформированным состоянием поверхностного слоя детали. Studies on the preparation of the substrate surface prior to coating are presented. The quality analysis of the surface, prepared by grit blasting to coating, is carried out. Results of studies on the boundary zone between the coating and the substrate prepared by grit blasting are performed. Negative effects of abrasive blasting, adversely affecting the quality of the coating, are revealed. A method of ultrasonic plastic deformation (UZPD) as an alternative to abrasive blasting is proposed. Advantages of this method in terms of a more evenly distributed and managed microrelief, the lack of microcracks, caricaturing the surface of an abrasive material, and ability to manage the stress-strain state of the surface layer of the substrate were showed.

В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ.