Нано- и микросистемная техника №5 2022 (4440,00 руб.)

Страниц	60

ID	923925
Аннотация	В издании освещаются состояние, тенденции и перспективы развития микросистемной техники — новой области науки и техники, связанной с разработкой и созданием в микрообъёмах твёрдого тела или на его поверхности миниатюрных чувствительных, исполнительных и энергообеспечивающих систем. Рассматриваются вопросы разработки микро-, электро-, микрооптомеханических и микробиологических систем на основе микро- и нанотехнологий.

Нано- и микросистемная техника .— 1999 .— 2022 .— №5 .— 60 с. — URL: https://rucont.ru/efd/923925 (дата обращения: 17.08.2025)