Плазменное оборудование для нанотехнологий (190,00 руб.)

Стр.2

Стр.3

Стр.4

УДК 621.793.7(075) ББК 30.61–5я7 Г79 Печатается по решению редакционно-издательского совета Казанского национального исследовательского технологического университета Рецензенты: д-р техн. наук, проф. А. Ф. Гайсин канд. техн. наук В. А. Усенко Г79 Гребенщикова М. М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / М. М. Гребенщикова, М. М. Миронов; Минобрнауки России, Казан. нац. исслед. технол. ун-т. – Казань : Изд-во КНИТУ, 2022. – 96 с. ISBN 978-5-7882-3285-0 Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов. УДК 621.793.7(075) ББК 30.61–5я7 ISBN 978-5-7882-3285-0 © Гребенщикова М. М., Миронов М. М., 2022 © Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2022 2

Стр.2

СОДЕРЖАНИЕ ВВЕДЕНИЕ ........................................................................................................................... 5 Глава 1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ О ПОКРЫТИЯХ ........................................................ 6 1.1. ОБЩАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ПОКРЫТИЙ И СПОСОБОВ ИХ НАНЕСЕНИЯ ............... 6 1.2. ПОКРЫТИЯ С НАНОСТРУКТУРОЙ ......................................................................... 13 Глава 2. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ ........................................................ 18 2.1. УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ КОНДЕНСАЦИИ ИЗ ПЛАЗМЕННОЙ ФАЗЫ С ИОННОЙ БОМБАРДИРОВКОЙ (КИБ) ............................. 18 2.2. УСТАНОВКА ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ .................................................................................................................. 26 2.3. ВЫСОКОЧАСТОТНАЯ ЕМКОСТНАЯ УСТАНОВКА .................................................. 31 Глава 3. ОБЗОР РАБОЧИХ КАМЕР ДЛЯ ВАКУУМНОГО И ПЛАЗМЕННОГО ОБОРУДОВАНИЯ ОТЕЧЕСТВЕННОГО И ЗАРУБЕЖНОГО ПРОИЗВОДСТВА ........................................................................ 34 3.1. НОРМАТИВНЫЕ ДОКУМЕНТЫ ............................................................................... 34 3.2. ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА .......................................................................................... 35 3.3. КЛАССИФИКАЦИЯ ВАКУУМНЫХ КАМЕР .............................................................. 36 3.4. РАЗМЕРЫ (ОБЪЕМЫ) ВАКУУМНЫХ КАМЕР .......................................................... 37 3.5. ФУНКЦИОНАЛ ВАКУУМНЫХ КАМЕР .................................................................... 39 3.6. ФОРМЫ ВАКУУМНЫХ КАМЕР ............................................................................... 39 3.7. НАЗНАЧЕНИЕ ВАКУУМНЫХ КАМЕР ...................................................................... 41 3.8. КОНСТРУКЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ ...................................................................... 43 3.9. ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ КАМЕР ................................... 45 3.10. ОБЗОР ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ ОТЕЧЕСТВЕННЫХ И ЗАРУБЕЖНЫХ ИЗГОТОВИТЕЛЕЙ ............................................................................... 46 Глава 4. ЭЛЕКТРОСИЛОВЫЕ ИСТОЧНИКИ ВАКУУМНЫХ И ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВОК НАНОТЕХНОЛОГИЙ ....................................... 57 4.1. ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ .......................................................................................... 57 4.2. НОРМАТИВНЫЕ ДОКУМЕНТЫ ............................................................................... 58 3

Стр.3

4.3. ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ПЛАЗМОТРОН ........................................................................ 60 4.4. ТРАНСФОРМАТОРЫ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ОБОРУДОВАНИЯ .................. 61 4.5. ОБЗОР ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ .......................................................................... 63 4.6. ПРИМЕРЫ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ ПЛАЗМОТРОНОВ ....................................... 69 Глава 5. ОСНАСТКА ВАКУУМНЫХ КАМЕР И ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ И ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ................................................................................................................. 79 5.1. ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ ................................................................................................ 79 5.2. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ПОРОШКОВЫХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ................... 82 5.3. ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОСНАСТКА ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПРОИЗВОДСТВА ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ...................................................... 84 5.4. ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПРОИЗВОДСТВА ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ............. 88 ЛИТЕРАТУРА ................................................................................................................... 95 4

Стр.4