НАНОИНДУСТРИЯ 16/1 (118)/2023
Научно-технический журнал
иВыпускается при содействии Министерства промышленности
индек торговли Российской Федерации. Журнал включен в Российский
с научного цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
ЛАТЫШЕВ Александр Васильевич, д.ф.-м.н., академик РАН, директор
института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения
РАН, г. Новосибирск, Россия
ЛУКИЧЁВ Владимир Федорович, чл.-корр. РАН, д.ф.-м.н., директор
ФТИАН, Москва, Россия
САУРОВ Александр Николаевич, д.т.н., проф., академик РАН, директор
Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
СИГОВ Александр Сергеевич, д.ф.-м.н., проф., академик РАН, президент
Московского технологического университета (МИРЭА)
ЧАПЛЫГИН Юрий Александрович, д.т.н., проф., академик РАН, президент
Национального исследовательского университета "МИЭТ"
Редакционная коллегия:
СВЕТУХИН Вячеслав Викторович, д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН,
проф., директор НПК "Технологический центр" (главный редактор журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ"), Москва, Россия
АЛЁШИН Алексей Николаевич, к.ф.-м.н., доц., зам. гл. редактора журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ", Москва, Россия
БАСАЕВ Александр Сергеевич, к.ф.-м.н., зам. директора ГНЦ РФ ГУ НПК
"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
БУЛЯРСКИЙ Сергей Викторович, д.ф.-м.н., проф., чл.-корр. Академии
наук Республики Татарстан, проректор по научной работе Ульяновского
государственного университета, заведующий кафедрой инженерной
физики, г. Ульяновск
БЫКОВ Виктор Александрович, д.т.н., проф., генеральный директор
ЗАО "НТ-МДТ", Москва, Россия
ВЕРНИК Петр Аркадьевич, директор Института стратегий развития, Москва,
Россия
КАНЕВСКИЙ Владимир Михайлович, к.ф.-м.н., зам. директора Института
кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Россия
ЛУЧИНИН Виктор Викторович, д.т.н., проф., директор Центра микроэлектроники
Минобразования РФ при СПбГТУ, Санкт-Петербург, Россия
МАЛЬЦЕВ Петр Павлович, д.т.н., проф., научный руководитель Института СВЧ
полупроводниковой электроники РАН, зам. председателя Экспертного совета ВАК,
Москва, Россия
ТЕЛЕЦ Виталий Арсеньевич, д.т.н., проф., директор института экстремальной
прикладной электроники НИЯУ МИФИ, Москва, Россия
ТИМОШЕНКОВ Сергей Петрович, д.т.н., проф., директор Института
нано- и микросистемной техники НИУ МИЭТ (Институт НМСТ, НИУ МИЭТ),
Зеленоград, Россия
ШЕЛЕПИН Николай Алексеевич, д.т. н., проф., руководитель научного
направления "Микроэлектроника" ИНМЭ РАН, Москва, Россия
ЯМИНСКИЙ Игорь Владимирович, д.ф.-м.н., проф., генеральный
директор ООО НПП "Центр перспективных технологий", Москва, Россия
Главный редактор: В.В.СВЕТУХИН
Зам. главного редактора: А.Н.АЛЁШИН
Корректор: А.В.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.А.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.С.БОДРОВ
8
СОДЕРЖАНИЕ
Нанотехнологии
НАУЧНЫЙ ПРОРЫВ. ЯНВАРСКИЕ ТЕЗИСЫ
И.В.Яминский, А.И.Ахметова
14
22
30
42
48
58
70
Том 16 № 1 2023
"ФЕМТОСКАН Х" В КЛАСТЕРЕ "ЛОМОНОСОВ"
И.В.Яминский, А.И.Ахметова, Т.О.Советников,
Н.Е.Максимова, О.В.Иванов
МЕТОДОЛОГИЯ РАЗРАБОТКИ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СИСТЕМ С ЗАДАННОЙ
ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬЮ ДЛЯ
ХЕМОРЕЗИСТИВНОЙ ГАЗОВОЙ СЕНСОРИКИ
БЕЗ ИСТОЧНИКОВ ПИТАНИЯ
E.C.Тюнтеров, В.С.Абруков, В.А.Мукин, А.В.Смирнов,
Д.В.Петров, Н.И.Петров, Н.В.Александрова, И.Ю.Семенова
ОБЗОР ПЕРСПЕКТИВНЫХ ПРИМЕНЕНИЙ
НАНОЧАСТИЦ В РАЗЛИЧНЫХ ОТРАСЛЯХ
ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Е.С.Шитова, Ф.В.Макаров, А.А.Перцев, А.П.Пономаренко,
А.А.Штраус
НОВЫЕ ЗЕЛЕНЫЕ ПРИРОДОПОДОБНЫЕ
ТЕХНОЛОГИИ БИОСИНТЕЗА НАНОЧАСТИЦ
БЛАГОРОДНЫХ И ТЯЖЕЛЫХ МЕТАЛЛОВ
Г.Е.Кричевский, Н.Д.Олтаржевская, Ю.С.Фидоровская,
Д.Р.Гафурова
НаноматериалыКОРРОЗИОННЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
МАРТЕНСИТНОГО СПЛАВА Ti50.0
В РАЗЛИЧНЫХ СТРУКТУРНЫХ СОСТОЯНИЯХ
ГРАВИМЕТРИЧЕСКИМ МЕТОДОМ
А.А.Чуракова, Э.М.Каюмова
Ni50.0
Оборудование
для наноиндустрии
ЛИНЕЙНЫЙ НАНОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ
ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ ДАТЧИК
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, Ю.М.Лавров, О.Г.Ермоленко,
С.Н.Ханов
ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКЦИИ
ГЕТЕРОСТРУКТУР ПРИ ПОСТРОЕНИИ GaN
НОРМАЛЬНО ЗАКРЫТЫХ ТРАНЗИСТОРОВ ДЛЯ
СИЛОВЫХ МОНОЛИТНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
К.А.Царик, О.Б.Чуканова, Е.А.Козловская
Стр.4
НАНОИНДУСТРИЯ 16/1 (118)/2023
Научно-технический журнал
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
Санкт-Петербург:
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
Минск:
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
•
• ООО "Урал-Пресс Округ"
• ООО "Руспресса"
• ООО "Агентство "Книга-Сервис"
• ООО "ГЛОБАЛПРЕСС"
• ООО "СЕРВИСПРЕСС"
• в редакции журнала по тел.: (495) 234-0110
• e-mail: magazine@technosphera.ru
АО "Почта России", индекс ПН759
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
Группы научных специальностей,
по которым издание входит в Перечень ВАК
01.04.10. Физика полупроводников (технические науки)
1.3.16. Атомная и молекулярная физика (физико-математические
науки, технические науки)
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов
и приборов электронной техники (технические науки)
1.4.5. Хемоинформатика (химические науки, технические науки)
58
70
Том 16 № 1 2023
48
30
42
8
Nanotechnologies
SCIENTIFIC BREAKTHROUGH. JANUARY THESES
I.V.Yaminsky, A.I.Akhmetova
14
22
FEMTOSCAN X AT THE LOMONOSOV CLUSTER
I.V.Yaminsky, A.I.Akhmetova, T.O.Sovetnikov, N.E.Maksimova,
O.V.Ivanov
A METHODOLOGY FOR DEVELOPMENT
OF THIN-FILM SYSTEMS WITH DEFINED GAS
SENSITIVITY REQUIRING NO POWER SOURCES
AND INTENDED FOR CHEMORESISTIVE
GAS SENSING
E.S.Tyunterov, V.S.Abrukov, V.A.Mukin, A.V.Smirnov, D.V.Petrov,
N.I.Petrov, N.V.Aleksandrova, I.Y.Semenova
REVIEW OF THE PROMISING APPLICATIONS
OF NANOPARTICLES IN VARIOUS INDUSTRIES
E.S.Shitova, F.V.Makarov, А.А.Pertsev, A.P.Ponomarenko,
A.A.Shtraus
NEW GREEN, NATURE-LIKE TECHNOLOGIES FOR
THE BIOSYNTHESIS OF NOBLE AND HEAVY METAL
NANOPARTICLES
G.E.Krichevsky, N.D.Oltarzhevskaya, Yu.S.Fidorovskaya,
D.R.Gafurova
Nanomaterials
CORROSION STUDIES OF THE Ti50.0
ALLOY IN DIFFERENT STRUCTURAL STATES BY THE
GRAVIMETRIC METHOD
A.A.Churakova, E.M.Kayumova
Ni50.0
MARTENSITIC
Equipment for
nanoindustry
LINEAR NANOMEASURING HOLOGRAPHIC
SENSOR
B.G.Turukhano, N.Turukhano, Yu.M.Lavrov, O.G.Ermolenko,
S.N.Khanov
DESIGN FEATURES OF HETEROSTRUCTURES
FOR CONSTRUCTION OF GaN NORMALLYOFF
TRANSISTORS FOR POWER MONOLITHIC
INTEGRATED CIRCUITS
K.A.Tsarik, O.B.Chukanova, E.A.Kozlovskaya
IN THE ISSUE
Стр.6