Тарасова, Н.В. Методы и средства метрологического обеспечения наноиндустрии : метод. указания к практ. занятиям по дисциплине «Нанометрология» / Н.В. Тарасова .— Липецк : Изд-во Липецкого государственного технического университета, 2019 .— 25 с. — URL: https://rucont.ru/efd/725126 (дата обращения: 14.04.2025)