УДК 623.4.054.002.56 РАБОТЫ КАФЕДРЫ “ПРИБОРЫ УПРАВЛЕНИЯ” ТУЛЬСКОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО УНИВЕРСИТЕТА В ОБЛАСТИ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ В. Я. <...> Распопов На кафедре “Приборы управления” ТулГУ уже через год после ее образования, начиная с 1962 г., выполняются научнотехнические разработки, ориентированные на создание малых серий и отдельных образцов приборов и систем различного назначения [1, 2]. <...> В 1997 г. были начаты работы в области микросистемной техники (МСТ) или, что то же самое — в области микроэлектромеханических систем. <...> Первые работы кафедры в области МСТ, имевшие практическое значение, были связаны с математическим моделированием динамики чувствительного элемента (ЧЭ) маятникового акселерометра, выполненного из монокристаллического кремния [3—5]. <...> Работа была инициирована ОАО “Темп-Авиа” (г. Арзамас), где была получена оценка адекватности результатов моделирования, использованных при расчете ЧЭ акселерометров серии АТ [6]. <...> Интерес отечественных разработчиков оборонной техники в конце 1990-х гг. к МСТ носил достаточно сдержанный характер. <...> Между тем, к этому времени появились публикации, прежде всего авторов из США, об использовании МСТ, в том числе микромеханических гироскопов (МГ) и микромеханических акселерометров (МА), в бортовой аппаратуре управляемых артиллерийских снарядов — летательных аппаратов (ЛА). <...> Сдержанность в этом вопросе объяснялась, прежде всего, отсутствием МГ и МА отечественной разработки, удовлетворяющих условиям их применения в бортовой аппаратуре управляемых ЛА. <...> По инициативе предприятий оборонного профиля кафедрой был выполнен цикл поисковых обзорно-аналитических работ, имевших целью определить возможные варианты использования МСТ на борту ЛА и состояние отечественных разработок в этом направлении [7]. <...> С началом XXI века ситуация с разработкой отечественных МГ и МА, обладающих приемлемыми для некоторых применений техническими характеристиками, стала меняться в лучшую сторону <...>