УДК 535.854 КОРРЕКЦИЯ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ЛАЗЕРНЫМИ ИНТЕРФЕРОМЕТРАМИ1 И. П. Мирошниченко, А. Г. Серкин Изложена методика комплексной коррекции результатов измерений малых перемещений лазерными интерферометрами на основе интегральной оценки интенсивности оптического поля интерферограммы, позволяющая учесть влияние внешних дестабилизирующих факторов. <...> Для высокоточных измерений малых перемещений поверхностей объектов контроля при исследовании акустико-эмиссионных процессов в твердых телах, волновых процессов в слоистых конструкциях и конструкциях, выполненных из анизотропных материалов, исследовании процессов дефектообразования в ленточных высокотемпературных сверхпроводниках и т. п. перспективно применение лазерных интерферометров. <...> Теоретически достижимые пределы разрешения при интерференционных измерениях малых длин и перемещений, составляющие 10–9.10–12 м, пока не достигнуты. <...> Это объясняется как действием комплекса внешних дестабилизирующих факторов [1], так и наличием угловой составляющей в перемещениях, для которой был предложен новый метод [2]. <...> Анализ основных погрешностей лазерных интерференционных систем показывает, что их учет возможен только путем выявления, определения и введения поправок в результаты измерений. <...> Для достижения этой цели существуют два способа: факторная и комплексная коррекции результатов измерений. <...> Суть факторной коррекции заключается в том, что по известным или экспериментально 1 Работа частично поддержана грантами Российского фонда фундаментальных исследований № 07-01-00012 и Южного федерального университета № К-07Т-56/1. <...> 28 полученным зависимостям контролируемых отдельных параметров окружающей среды и других влияющих факторов определяют влияние каждого фактора и вычисляют поправку. <...> Комплексная коррекция заключается в определении суммарного результата действия всех влияющих факторов, вносящих погрешность в результат измерений <...>