УДК 621.315.61:534.232 СТАТИЧЕСКИЕ И ДИНАМИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СОСТАВНЫХ ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКИХ АКТЮАТОРОВ НАНО- И МИКРОПЕРЕМЕЩЕНИЙ С. М. <...> Афонин, П. С. Афонин Исследованы характеристики составных пьезокерамических актюаторов при продольном и поперечном пьезоэффектах с параллельным и кодовым управлением. <...> Проведено моделирование статических и динамических характеристик составных пьезоактюаторов нано- и микроперемещений. <...> Нано- и микрометрическая точность оборудования для нанотехнологии и микроэлектроники обеспечивается электромеханическими системами с нано- и микроманипуляторами, основанными на деформации пьезокерамического актюатора. <...> При переходе к нанотехнологиям в безотходном технологическом процессе происходит изменение структуры в системе преобразования энергии. <...> Для получения промышленной продукции при этом не требуется больших затрат сырья, энергии, средств транспортировки, уменьшается количество отходов и загрязнений окружающей среды, так как при безотходном процессе производства сборка или самосборка изделий из атомов и молекул происходит снизу-вверх с соответствующими наноперемещениями пьезоактюаторов в наноманипуляторах. <...> Нано- и микроманипуляторы с пьезокерамическими актюаторами решают задачи пространственного прецизионного позиционирования объектов в оборудовании для нанотехнологии, микроэлектроники [1, 2]. <...> Пьезоактюаторы для приводов нано- и микроперемещений имеют диапазон перемещения от нескольких нанометров до десятков микрометров, чувствительность менее 1 нм/В, нагрузочную способность до 1000 Н, мощность на выходном валу до 100 Вт и полосу пропускания порядка нескольких десятков герц. <...> Основным параметром внешней нагрузки пьезоактюатора является жесткость нагрузки, т. е. отношение величины силы упругой реакции нагрузки к величине деформации нагрузки. <...> В зависимости от жесткости и массы нагрузки проектируются конструктивные параметры пьезоактюатора. <...> Статические <...>