% И. Н. Николаев, Л. Н. Калинина, А. В. Литвинов Разработаны новые типы МДП (металл—диэлектрик—полупроводник)-сенсоров, которые позволяют непосредственно измерять концентрации водорода в расширенном диапазоне (до 10 об. <...> %). Применяя специальные схемы отбора исследуемых газовых проб, с помощью таких сенсоров можно измерять концентрации водорода вплоть до 100 об. <...> %. На базе разработанных МДП-сенсоров можно создать новый класс газоанализаторов водорода, пригодных для решения ряда технических задач водородной энергетики. <...> ВВЕДЕНИЕ Развитие экологически чистой водородной энергетики, в которой в качестве топлива используется водород, выдвигает задачу создания надежных измерителей концентраций водорода в широком диапазоне измерений. <...> Для ее решения необходимо усовершенствовать существующие и создать новые типы водородных сенсоров. <...> Среди созданных хорошо зарекомендовали себя МДПсенсоры [1]. <...> Однако до настоящего времени они применялись в довольно ограниченном диапазоне концентраций — 10–4.1 об. <...> % [2], так как в этом диапазоне сенсоры проявляют наиболее высокую чувствительность. <...> В многочисленных технических задачах водородной энергетики потребуется измерять концентрации водорода вплоть до 100 об. <...> %. Решить эту задачу простым загрублением чувствительности путем уменьшения коэффициента усиления электронной схемы, обрабатывающей сигнал сенсора, нельзя, так как верхний предел доступного диапазона концентраций определяется самой структурой (конструкцией) сенсора. <...> В настоящей статье сообщается о создании МДП-сенсоров с новыми структурами, у которых 48 Sensors & Systems · ¹ 12.2008 верхний предел измеряемых концентраций водорода составляет более 10 об. <...> %. Благодаря применению специальных схем отбора исследуемых газовых проб становится возможным измерять концентрации водорода вплоть до 100 об. <...> %. ПРИНЦИПЫ РАЗРАБОТКИ НОВЫХ ТИПОВ МДП-СЕНСОРОВ МДП-сенсор по существу представляет собой конденсатор с электроемкостью <...>