КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586`326:519.687 ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ С ЭЛЕМЕНТАМИ УПРАВЛЕНИЯ О. В. <...> Зацерклянный Описаны основные направления развития интеллектуальных датчиков давления, их место в современных распределенных интеллектуальных управляющих системах. <...> Рассмотрен пример создания интеллектуального датчика давления с элементами управления. <...> Датчики для измерения абсолютного, избыточного, гидростатического давления, разрежения, давления-разрежения, разности давлений широко применяются для мониторинга различных технологических процессов, контроля и учета потребления природных ресурсов, учета энергоносителей и многих других задач, охватывая диапазон измерения давлений от 50 Па до 250 МПа. <...> Развитие датчиков давления идет одновременно по двум направлениям: совершенствование измерительных блоков и совершенствование электронных устройств. <...> Основная масса датчиков давления в нашей стране выпускается на основе чувствительных элементов (рис. <...> 1), принципом действия которых является измерение деформации тензорезисторов, сформированных в эпитаксиальной пленке кремния на подложке из сапфира (КНС), припаянной твердым припоем к титановой мембране. <...> Иногда вместо кремниевых тензорезисторов используют металлические: медные, никелевые, железные и др. <...> . Принципиальное ограничение КНС преобразователя — неустранимая временная нестабильность градуировочной характеристики и существенные гистерезисные эффекты от давления и температуры. <...> Это обусловлено неоднородностью конструкции и жесткой связью мембраны с конструктивными элементами датчика. <...> Упрощенный вид тензорезистивного чувствительного элемента: 1 — тензорезисторы; 2 — сапфировая подложка; 3 — серебросодержащий припой; 4 — титановая мембрана Рис. <...> Кремниевый интегральный преобразователь давления: 1 — контактные площадки; 2 — металлизация; 3 — монокристаллический кремний; 4 — диффузионные <...>