Горлов, Н. А. Шишкина, Е. П. Самцов Показано практическое использование микроэлектронного датчика влажности поверхностно-конденсационного типа для измерения содержания паров воды внутри корпусов интегральных схем. <...> В работе [1] описана конструкция микроэлектронного датчика влажности поверхностноконденсационного типа и предложена методика измерения содержания паров воды внутри корпусов интегральных схем (ИС). <...> Цель работы — проверить на серийно-выпускаемых ИС в корпусах типа 401.14 практическое использование датчика, сравнить полученные результаты с результатами измерения влажности масс-спектрометрическим методом. <...> Конструкция датчика позволяет размещать его в любом типе корпусов ИС. <...> 1 показано размещение шести датчиков влажности в корпусах 401.14 [2]. <...> Для этого типа корпуса вырезается кристалл, содержащий шесть отдельных датчиков 2 ½ 3. <...> Параллельное соединение конденсаторов на кристалле вертикально расположенных датчиков позволяет повысить точность измерений влаги в подкорпусном объеме. <...> Запараллеливание трех пар конденсаторов также позволяет повысить точность измерений. <...> Дублирование термодатчиков в одном корпусе ИС позволяет поднять выход годных практически до 100 %. <...> Разработанный авторами датчик изготовлен на минском заводе “Транзистор” в количестве 10 штук. <...> 2) состоит из кристалла, содержащего шесть датчиков влажности, помещенных в корпуса типа 401.14—5 и 401.14—3. <...> Так как каждый кристалл датчика размером 1 ½ 1 мм имеет диод, резистор и гребенку из алюминия, то необходимо определить, какая именно контактная площадка датчика будет “разварена” и на какую траверсу вывода корпуса. <...> Практически для измерения содержания паров воды достаточно подключить один диод и один резистор из всех кристаллов. <...> Чтобы исключить возможность попадания бракованного диода или резистора, необходимо продублировать их. <...> Алюминиевые гребенки фактически являются элементами, контролирующими пары воды, и соединены <...>