Способ настройки тензорезисторных датчиков с мостовой измерительной цепью по аддитивной температурной погрешности / В. А. Тихоненков, Е. В. Тихоненков // Бюл. <...> Владимир Андреевич Тихоненков — канд. техн. наук, профессор; (8422) 77-81-08 Лев Николаевич Винокуров — аспирант. <...> Калинина, А. В. Литвинов, И. Н. Николаев Дана информация об особенностях динамических характеристик, обнаруженных на некоторых типах МДП-сенсоров, заключающихся в том, что при релаксации (после удаления измеряемого газа) сигнал сенсора проходит через нуль и остается отрицательным в течение длительного времени. <...> Это явление вносит небольшую погрешность в измерения концентраций газов, поэтому им, как правило, можно пренебречь. <...> Однако обнаруженный эффект представляет существенный интерес для создания микроскопической теории центров захвата, ответственных за чувствительность МДП-сенсоров к газам. <...> МДП (металл-диэлектрик-полупроводник)-сенсоры уже находят практическое применение в качестве чувствительных элементов газоанализаторов в различных областях науки и техники: в экологии, геофизике, медицине, промышленности, водородной энергетике [1]. <...> Однако остаются актуальными вопросы уточнения микроскопического механизма чувствительности МДП-сенсоров к различным газам и улучшения их метрологических характеристик. <...> 1), электроемкость C которого зависит от прикладываемого постоянного напряжения V (рис. <...> Тогда при фиксированном “напряжении смещения” —Vсм наблюдается изменение электроемкости на величину ∆C, однозначно связанную с концентрацией газа. <...> 3 показаны различные формы динамических характеристик сенсоров, т. е. зависимости показаний газоанализатора от времени при 12 Sensors & Systems · ¹ 6.2010 подаче ступенчатых импульсов концентраций газа K. <...> 3, б и в — обычные характеристики “классических” типов сенсоров (со структурами Pd–SiO2–Si и Pd–Ta2O5–SiO2–Si), на рис. <...> 3, г, — недавно обнаруженная авторами характеристика на некоторых типах сенсоров (например <...>