Если потребуется более высокая точность измерения давления, то возможно введение термокомпенсации, т. е. коррекции измерения давления с помощью измерения температуры дополнительным (вторым) каналом. <...> ЗАКЛЮЧЕНИЕ Разработана и реализована четырехканальная волоконно-оптическая система измерения давления. <...> Разрешающая способность предлагаемого метода составляет ∼10–6 от полного диапазона измерений для времени одного измерения 20 мс. <...> Прибор невосприимчив к электромагнитным помехам и способен работать в пожаро- и взрывоопасных условиях. <...> Продемонстрированный метод обработки сигналов допускает мультиплексирование измерительных каналов и объединение приборов в сети. <...> Работа выполнена в Научной организации “Центр лазерной технологии и материаловедения” (Автономная некоммерческая организация). <...> Игорь Геннадьевич Лихачев — канд. физ.-мат. наук, научн. сотрудник; (499) 503-83-19 E-mail: iglikhachev@gmail.com Владимир Иванович Пустовой — канд. физ.-мат. наук, директор. <...> Жилин В. Г. Волоконно-оптические измерительные преобразователи скорости и давления. <...> Разделение частот в теории колебаний и волн. <...> УДК 681.586'32 ТЕХНОЛОГИЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ И ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЭМС-ДАТЧИКОВ И. С. <...> Бармашов Кратко рассмотрены достоинства метода плазмохимического травления для создания емкостных МЭМС-датчиков. <...> В качестве примера приведен инклинометр, разработанный ООО “Совтест-АТЕ” на основе данной технологии. <...> ЕМКОСТНЫЕ МЭМС-ДАТЧИКИ Основными, наиболее распространенными физическими принципами формирования выходного сигнала датчиков ускорения, а также других инерциальных датчиков (гироскопов, 60 инклинометров, датчиков вибрации) являются пьезорезистивный и емкостной. <...> Он основан на эффекте изменения емкости конденсатора при изменении конфигурации его электродов. b x d С(х) = b а) x d С(х) = b б) Подвижный электрод x Рис. <...> Основные принципы изменения емкости: а — изменение зазора; б — изменение площади перекрытия SiO2 <...>