Чебурахин, П. А. Колосов Исследована возможность применения импульсных электрических нагрузок определенной амплитуды и длительности при изготовлении металлопленочных датчиков с тонкопленочными тензорезисторами. <...> Дано описание механизма воздействия импульсов напряжения при обработке резистивного слоя на этапах стабилизации и юстировки сопротивлений тонкопленочных тензорезисторов. <...> Сформулированы конкретные рекомендации по практическому применению технологии импульсной обработки. <...> Ключевые слова: импульс напряжения, тонкопленочный тензорезистор, стабилизация, юстировка сопротивления, длительность импульса, тепловой импульс. <...> Несмотря на достаточно высокий уровень развития технологии изготовления металлопленочных тензорезисторных датчиков физических величин, актуальной остается проблема обеспечения долговременной стабильности их выходных параметров. <...> Стабильность же выходных параметров тензорезисторных датчиков напрямую связана со стабильностью сопротивлений тонкопленочных тензорезисторов (ТР), образующих измерительную схему датчика и сформированных на металлическом упругом элементе с тонким изолирующим слоем. <...> В свою очередь, стабильность тонкопленочных ТР определяется в большей степени наличием скрытых дефектов тонкопленочной структуры интегрального чувствительного элемента (ЧЭ), которые обусловлены: — исходным состоянием рабочей поверхности упругих элементов (риски, царапины неисчезающего характера после полировки, структурные дефекты самого материала упругого элемента); — дефектами, привносимыми непосредственно самим процессом напыления диэлектрического и тензорезистивного материала (поры в изолирующем и резистивном слоях тонкопленочной структуры, образующиеся при взаимодействии частиц напыляемого материала с остаточными газами в рабочем объеме вакуумной камеры и на поверхности упругого элемента). <...> Кроме того, современный уровень технологии изготовления <...>