Васильев, Н. В. Громков Описаны новые схемотехнические и конструктивные решения, позволяющие уменьшить температурную погрешность датчиков давления на основе нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) и частотных интегрирующих развертывающих преобразователей (ЧИРП). <...> Показано, что совмещение функций элементов ЧИРП и НиМЭМС обеспечивает повышение точности преобразования в широком диапазоне температур. <...> Ключевые слова: частотные измерительные преобразователи, датчики давления, нано- и микроэлектромеханические системы, температурная погрешность. <...> Измерение давлений в условиях воздействия широкого диапазона стационарных и нестационарных температур (термоудара) в местах протекания высокоэнергетических процессов предъявляет высокие требования к устойчивости работы датчиков и достоверности информации. <...> Тонкопленочные тензорезисторные датчики давления (ТТДД) обладают оптимальным сочетанием метрологических, конструктивных, технологических характеристик с наивысшей устойчивостью к воздействию вышеназванных факторов, что предопределяет актуальность дальнейшего повышения устойчивости ТТДД к воздействию дестабилизирующих факторов [1]. <...> Использование нано- и микроэлектромеханических систем (НиМЭМС) с оригинальными гетерогенными структурами, выполненными на мембране чувствительного элемента датчика, позволяет получать качественно новые свойства элементов и устройств, улучшать точностные характеристики датчиков давления [2]. <...> Применение в качестве вторичных преобразователей сигналов с резистивных датчиков частотных интегрирующих развертывающих преобразователей (ЧИРП) уменьшает влияние таких дестабилизирующих факторов, как нестабильность источников питания, изменение параметров линии связи [3]. <...> Проведенные исследования показали, что путем введения дополнительных элементов в схемы ЧИРП и совмещения функций отдельных элементов схем вторичных и первичных измерительных <...>