334-92-00 E-mail: borovski@ipu.ru УДК 681.586`33 ОСОБЕННОСТИ ВОЛЬТАМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ РЕЗИСТИВНОГО ТИПА В МУЛЬТИСЕНСОРНОМ ИСПОЛНЕНИИ И. А. <...> Аверин, И. А. Пронин, Н. Д. Якушова, М. В. Горячева Рассмотрены основные факторы, влияющие на нелинейность вольтамперных характеристик газовых сенсоров резистивного типа. <...> Выяснено, что при малых зазорах между электродами сенсора, что имеет место в мультисенсорных системах, основной вклад в нелинейность вносят три фактора: дрейф хемосорбированных ионов к аноду, дрейф протонов по поверхности к катоду и дрейф собственных дефектов по подрешетке. <...> Ключевые слова: газовый сенсор, мультисенсорные системы, нелинейность ВАХ газовых сенсоров. <...> Разработка мультисенсорных систем распознавания газа — одна из актуальных задач датчикостроения [1—5]. <...> Существует несколько технологий изготовления чувствительных элементов [6—10]. <...> Поэтому предпочтение отдается сенсорам из одного материала, так как симбатное старение всех элементов минимизирует ошибки [11]. <...> При формировании современных мультисенсорных систем распознавания газов производится сегментация газочувствительной пленки набором компланарных металлических электродов. <...> При этом размер одного чувствительного элемента 12 достигает десятков микрон [12] (рис. <...> При малых зазорах между электродами ВАХ даже омических сенсоров при низких значениях приложенной разницы потенциалов могут иметь отклонения от линейности. <...> Вклад в отклонение характеристик от линейной зависимости, вероятно, вносят следующие процессы: — дрейф хемосорбированных ионов кислорода к аноду; — дрейф протонов на поверхности к катоду по перколяционному стягивающему кластеру адсорбированной воды; — дрейф собственных электрически активных дефектов в объеме по подрешетке. <...> Мультисенсорный чип в корпусе PGA-120 Sensors & Systems · ¹ 12.2013 Рассмотрим дрейф отрицательно заряженных ионов кислорода между электродами по направлению к аноду на поверхности полупроводниковой <...>