ЖУРНАЛ В ЖУРНАЛЕ Главный pедактоp — д-p техн. наук, пpофессор В. Ю. Кнеллеp УДК 621.3.032 РАЗРАБОТКА И ИЗГОТОВЛЕНИЕ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ОСОБО ЖЕСТКИХ УСЛОВИЙ ЭКСПЛУАТАЦИИ И. Н. <...> Баринов, В. С. Волков, Б. В. Цыпин, С. П. Евдокимов Рассмотрены датчики давления на основе структур “кремний-на-диэлектрике”, карбида кремния, поликристаллического алмаза для особо жестких условий эксплуатации. <...> Предложены конструктивно-технологические решения для снижения температурной зависимости и устранения дрейфа выходного сигнала благодаря совершенствованию технологии диффузионной сварки и применению технологии беспроводной сборки, обеспечивающей создание высокотемпературных контактов. <...> Ключевые слова: особо жесткие условия эксплуатации, структура “кремний-на-диэлектрике”, карбид кремния, поликристаллический алмаз, диффузионная сварка, беспроводная сборка. <...> Важнейшим параметром, подлежащим измерению на различных этапах создания, отработки и испытаний ракетно-космической, авиационной и гражданской техники, а также при ее эксплуатации, является давление, измеряемое с помощью микроэлектронных датчиков давлений (МЭДД). <...> Комплекс современных требований к МЭДД, сформулированный на основе анализа перспективных технических заданий от предприятий оборонно-промышленного комплекса и гражданских отраслей промышленности, главным образом характеризуется необходимостью создания на их основе систем измерения, контроля, управления, диагностики и автоматической защиты ракетнокосмической, авиационной и гражданской техники, квалифицируемых по воздействию на них комплекса влияющих величин, прежде всего — повышенных температур (до 600 °С), а также ионизирующих излучений и жестких электромагнитных помех. <...> При этом МЭДД должны удовлетворять заданным метрологическим характеристикам (основная погрешность — не более ±0,2 % от максимального давления, нестабильность основной погДатчики <...>