Факультету радиотехники, электроники и связи ГУАП — 70 лет УДК 534.2;621.37 КРИТЕРИИ ВЫБОРА МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ДАТЧИКОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ CRITERIA OF A CHOICE OF MATERIALS FOR SENSORS ON SURFACE ACOUSTIC WAVES Балышева Ольга Леонидовна канд. техн. наук, доцент E-mail: balysheva@mail.ru Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения Факультет радиотехники, электроники и связи Кафедра конструирования и технологии электронных и лазерных средств Аннотация: Рассмотрены современные материалы и типы подложек, используемые для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ), и особенности выбора материалов для чувствительных элементов датчиков на ПАВ. <...> Приведена классификация датчиков, показаны учитываемые при разработке факторы, выделены критерии выбора материалов. <...> ВВЕДЕНИЕ Преимуществами датчиков на поверхностных акустических волнах (ПАВ) служат миниатюрность, надежность, пассивность, возможность совмещения функции измерения и идентификации. <...> В последние 15—20 лет датчикам на ПАВ уделяется повышенное внимание благодаря возможности реализации беспроводных измерений различных физических величин, в том числе и при высоких (выше 200.300 °С) температурах. <...> Технические характеристики таких датчиков чрезвычайно критичны к конструктивным материалам. <...> Однако из-за отсутствия единого набора конструктивных материалов, используемых для различных устройств на ПАВ, возникает задача поиска и оптимального выбора материалов из перечня потенциально пригодных. <...> В статье обсуждается специфика и критерии оптимального выбора материалов для датчиков с чувствительными элементами на ПАВ, перечисляются учитываемые в процессе разработки факторы и параметры применяемых материалов. <...> ПАВ УСТРОЙСТВА КАК ДАТЧИКИ Носителями информации в устройствах на ПАВ служат акустические волны, распространяющиеся в поBalysheva Olga L. Ph. <...> (Technical), Associate Professor E-mail: balysheva@mail.ru Saint-Petersburg State University of Aerospace Instrumentation <...>