Прикладная физика, 2016, № 4 ФОТОЭЛЕКТРОНИКА УДК 535.231.6+621.382 Микроболометрический детектор, чувствительный в двух спектральных диапазонах С. А. Жукова, В. Е. Турков, С. А. Демин, Б. В. Трошин В работе представлены результаты разработки и реализации нового конструктивного варианта пикселя микроболометра, основным отличием от аналогичных известных конструкций которого является использование тонких пленок тантала в качестве поглощающего материала. <...> Использование предлагаемых материалов и толщин слоев, составляющих пиксель, позволяет увеличить и достичь 98 % поглощения ИК-излучения при неоднородности 2,5 % в спектральном диапазоне 8—14 мкм, а также уравнять коэффициенты и достичь равномерности поглощения в спектральном диапазоне 3—5 мкм и 8—14 мкм, повысить быстродействие и чувствительность. <...> Снижение толщины слоев приводит к увеличению температуры пикселя в 3 раза с соответственным увеличением чувствительности болометра, но при сохранении его динамических характеристик. <...> Введение Производство микроболометрических матриц — это высокотехнологичный и дорогостоящий процесс, причем в мире существует немного компаний, которые способны их производить. <...> Е-mail: nicnt@cniihm.ru Статья поступила в редакцию 30 июня 2016 г. © Жукова С. А., Турков В. Е., Демин С. А., Трошин Б. В., 2016 малая масса, прочность, надежность, низкая стоимость, нормальные рабочие температуры, совместимость технологии их изготовления с базовыми технологиями микроэлектроники. <...> Целью настоящей работы являлось создание конструкции пикселя, имеющего равные коэффициенты поглощения в двух спектральных диапазонах 3—5 мкм и 8—14 мкм без снижения разрешающей способности прибора. <...> Использование пикселей, имеющих высокую поглощающую способность в двух спектральных диапазонах, позволяет расширить функциональные возможности микроболометра без снижения разрешающей способности прибора. <...> В работе представлены результаты разработки и реализации нового конструктивного <...>