Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 610371)
Контекстум
Прикладная физика  / №1 2011

Формирование индиевых микроконтактов ионным травлением (10,00 руб.)

0   0
Первый авторБолтарь
АвторыКорнеева М.Д., Мезин Ю.С., Седнев М.В.
Страниц5
ID445897
АннотацияПредставлены результаты исследования процессов ионно-лучевого и высокочастотного катодного травления напыленных слоев индия для формирования микроконтактов. Изготовлены матрицы микроконтактов высотой более 10 мкм с шагом 28 мкм формата 384*288. Ширина канавки, разделяющей индиевые микроконтакты, не превышает 5 мкм
УДК621.315.5:621.794.4
Формирование индиевых микроконтактов ионным травлением / К.О. Болтарь [и др.] // Прикладная физика .— 2011 .— №1 .— С. 92-96 .— URL: https://rucont.ru/efd/445897 (дата обращения: 21.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Fabrication of indium bumps for hybrid FPA applications// Infrared Physics and Technology. 2004. <...> New Reflow Process for Indium Bump// Proc. of SPIE.1996. <...> The matrixes of microcontacts of height more than 10 microns with a step 28 microns of the 384Ч288 format are made. <...> The width of a flute dividing (sharing) indium microcontacts does not exceed 5 m. <...>