Эксилампы и новое семейство ультрафиолетовых облучателей на их основе Э.А. СОСНИН Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск1 Появление и развитие эксиламп E пример впечатляющего прорыва в создании и применении разрядных ИС. <...> Эксилампы являются источниками спонтанного излучения в ультрафиолетовом (УФ) или вакуумном ультрафиолетовом (ВУФ) диапазонах спектра, излучающими за счет распада эксимерных молекул (эксимеров – от англ. excited dimer; excimer – возбужденный димер, если речь идет о молекуле, состоящей из двух одинаковых атомов (например, Xe2*) или эксиплексных молекул (эксиплексов, E от англ. excited complex; exciplex – возбужденный комплекс, если речь идет о гетероатомной молекуле (например, XeCl*). <...> В зависимости от сорта газа и условий возбуждения рабочей среды, эксиплексы/эксимеры образуются по различным механизмам, а характерное время жизни возбужденных молекул составляет 10–7–10–9 с. <...> Спонтанный распад эксимерных и эксиплексных молекул на отдельные ато1 Доклад на VI Международной светотехнической конференции. <...> К сожалению, можно отметить, в западной литературе сохраняется некорректное название «excimer lamps», которое, согласно выше сказанному, применимо только к лампам на эксимерных молекулах. <...> Поэтому в 1994 г. в работе [4] для ламп на эксимерных и эксиплексных молекулах было предложено компромиссное и более общее название E эксилампы. <...> Другие типы разрядов (например,тлеющий,импульсный,ВДсУФ предыонизацией, искровой и коронный), несмотря на ограниченность ресурса (из-за наличия электродов), также используются в эксилампах, хотя наиболее привлекательными в коммерческом отношении являются безэлектродные эксилампы барьерного и емкостного разрядов. <...> 1), что, например, впервые позволило подобрать оптимальнуюдля рядафотохимических реакций геометрию [4] (геометрия разряда определяет давление газовEвэкислампахтлеющегоразряда оно не превышает десятка мм рт. ст, а в барьерном разряде может превышать 760 мм рт. ст <...>