Механизмы прецизионных перемещений (1400,00 руб.)

Стр.2

Стр.208

Стр.209

УДК 62-8 ББК 34.445 М69 Издание доступно в электронном виде по адресу https://bmstu.press/catalog/item/7110/ Факультет «Машиностроительные технологии» Кафедра «Электронные технологии в машиностроении» Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия М69 Михайлов, В. П. Механизмы прецизионных перемещений : учебное пособие / В. П. Михайлов, А. М. Базиненков. — Москва : Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021. — 209, [1] с. : ил. ISBN 978-5-7038-5529-4 Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микрои наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия». УДК 62-8 ББК 34.445 ISBN 978-5-7038-5529-4 © МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2021 © Оформление. Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2021

Стр.2

ОГЛАВЛЕНИЕ Предисловие................................................................................................... ..3 Список.принятых.сокращений.и.обозначений........................................... ..6 Введение......................................................................................................... .11 Модуль.1..Требования.к.системам.микро-.и.наноперемещений.. Основные.типы.механизмов.прецизионных.перемещений........................ .14 1.1..Основные.характеристики.механизмов.точных.перемещений...... .15 1.2..Современное.и.перспективное.исследовательское. ......и.технологическое.оборудование,.применяемое. ......в.микро-.и.нанотехногиях................................................................ .15 1.2.1..Оборудование.для.производства.интегральных ........микросхем.и.печатных.плат................................................. .15 1.2.2..Системы.позиционирования.для.оборудования .........нанолокальной.обработки.................................................. .19 1.2.3..Система.позиционирования.элементарных.зеркал .........в.адаптивных.составных.телескопах.................................. .22 1.2.4..Оптоволоконные.системы.и.их.настройка.с.помощью .........юстировочных.устройств.................................................... .28 1.2.5..Позиционирующие.устройства.для.прецизионного.......... .29 .........металлообрабатывающего.оборудования 1.2.6..Комплекс.требований.к.системам.точного .........позиционирования.и.виброизоляции.прецизионного .........оборудования....................................................................... .30 1.3..Механизмы.точных.перемещений................................................... .31 1.3.1..Краткая.характеристика.основных.типов.механизмов .........перемещений.и.физические.принципы.их.работы........... .31 1.3.2..Механизмы.перемещений.и.их.элементы.......................... .46 Задания.для.самостоятельного.выполнения................................................ 120 Модуль.2..Расчет.основных.параметров.прецизионных.механизмов........ 121 2.1..Матричный.метод.анализа.и.синтеза.механизмов.точных. ......перемещений..................................................................................... 122 2.2..Влияние.вакуумной.технологической.среды.на.конструкцию ......и.характеристики.механизмов.перемещений.................................. 129 2.3..Понятие.погрешности.позиционирования.механизма. ......перемещений.при.различных.режимах.работы............................... 130 2.4..Составляющие.погрешности.позиционирования.механизмов ......с.различной.зоной.замыкания.систем.автоматического.управления.135 Вопросы.и.задания.для.самостоятельного.выполнения............................. 140

Стр.208

Оглавление 209 Модуль.3..Вибрационная.защита.прецизионного.оборудования............... 141 3.1..Вибрационные.воздействия.на.оборудование..Виды. ......и.характеристики.вибрационных.возмущений............................... 142 3.2..Методы.и.средства.вибрационной.защиты.оборудования............. 147 3.3..Характеристики.виброизолирующей.системы..Оценка. ......эффективности.виброизоляции....................................................... 154 3.4..Расчет.характеристик.виброизолирующих.систем.......................... 159 3.5..Перспективная.система.активной.виброизоляции......................... 168 Задания.для.самостоятельного.выполнения................................................ 173 Модуль.4..Управление.механизмами.микро-.и.наноперемещений............ 174 4.1..Особенности.механизмов.микро-.и.наноперемещений. ......как.объектов.для.автоматического.управления............................... 174 4.2..Методика.разработки.динамической.модели.юстировочного ......привода.............................................................................................. 184 4.3..Методика.разработки.динамической.модели.активного.демпфера. 191 4.4..Методика.разработки.динамической.модели.активного. ......демпфера.при.воздействии.синусоидального.вибрационного ......сигнала............................................................................................... 194 4.5..Методика.разработки.динамической.модели.многокоординатной .......платформы.для.активной.виброизоляции...................................... 195 4.6..Методика.разработки.алгоритмов.управления.многокоординатной. ......платформой.для.активной.виброизоляции..................................... 201 Задания.для.самостоятельного.выполнения................................................ 203 Глоссарий........................................................................................................ 204 Литература...................................................................................................... 206

Стр.209