Pw, 85.60.Gz Влияние высокой температуры на свойства полупрозрачных слоев золота В. С. Рудневский Представлены результаты исследования воздействия высокой температуры на свойства полупрозрачных слоев золота, используемых при изготовлении фотодиодов Шоттки. <...> Показано влияние высокой температуры на удельное сопротивление и оптическое пропускание Auпленок толщиной 8ч21 нм. <...> Также показано изменение структуры Au-пленки толщиной 10 нм при воздействии высокой температуры. <...> На основании представленных данных делается вывод, что температура 300 С является предельной температурой для фотодиодов Шоттки с золотым барьерным контактом, при превышении которой резко возрастает необратимая деградация фотодиодов. <...> Ключевые слова: фотодиод Шоттки, удельное сопротивление, оптическое пропускание, барьерный контакт, фосфид галлия, Au-пленка. <...> Введение При изготовлении ультрафиолетовых фотодиодов Шоттки (ФДШ), в частности, на основе фосфида галлия (GaP) [2–4, 6–8], на поверхность полупроводника в качестве барьерного контакта наносится тонкая пленка золота [1–8]. <...> Использование этого металла в качестве барьерного контакта является предпочтительным, поскольку золото образует высокий потенциальный барьер с полупроводником, оно химически устойчиво, на воздухе не окисляется, а процесс получения полупрозрачных Au-слоев путем термического испарения в вакууме удобен и технологичен. <...> Однако поведение такой пленки при воздействии высокой температуры окружающей среды существенно влияет на основные характеристики фотодиодов Шоттки и ограничивает возможности их применения. <...> С целью выяснения поведения тонких слоев золота, используемых в качестве барьерного контакта в ФДШ, и оптимизации их толщины, были проведены исследования воздействия высоких температур на удельное поверхностное сопротивление (т.н. сопротивление квадрата Рудневский Владимир Сергеевич, ведущий инженерэлектроник, к.ф.-м.н. <...> E-mail: rudnevskiy@mail.ru Статья поступила <...>