ЛАЗЕРНАЯ ФИЗИКА Использование фиктивных частиц при анализе рассеивающих свойств малозаметных дефектов подложки Ю. <...> Г. Свешников2,b Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, 1факультет вычислительной математики и кибернетики, кафедра математической физики; 2физический факультет, кафедра математики. <...> Предложена и реализована модификация метода дискретных источников, основанная на использовании «фиктивной» частицы. <...> Подобный подход позволяет проводить эффективный численный анализ рассеивающих свойств наноразмерных дефектов подложки, таких как пологая ямка или пологий бугорок. <...> Приведены численные результаты, иллюстрирующие возможности реализованного компьютерного модуля. <...> Ключевые слова: наноразмерный дефект подложки, численный анализ, метод дискретных источников, фиктивная частица. <...> Особое беспокойство вызывает присутствие малозаметных дефектов, таких как углубление в подложке (shallow pit) или бугорок (shallow bump). <...> Особенность подобных дефектов заключается в том, что они имеют пологую форму, аих диаметр может быть значительным — 50–400 нм, в то время как глубина (высота) составляет не более 5–10 нм. <...> Использование оптических сканеров для обнаружения и идентификации этих дефектов требует наличия адекватных средств математического моделирования для предсказания их рассеивающих свойств, а также для оценки интенсивности рассеяния. <...> Опыт работы последних 15 лет в данном направлении показал, что метод дискретных источников (МДИ) является эффективным и малозатратным инструментом численного анализа рассеивающих свойств различных дефектов подложки [1–3]. <...> В отличие от других подходов [4] МДИ позволяет учесть все особенности рассматриваемой задачи рассеяния. <...> Кроме того, он дает возможность проводить апостериорную оценку погрешности приближенного решения, контролируя реальную сходимость к точному решению граничной задачи рассеяния [5]. <...> Сложность анализа пологих дефектов малой толщины <...>