М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru УДК 621.397 Бушминский И.О., инженер ООО «НПИ ФИРМА «ГИПЕРИОН» Новиков М.А. инженер МГТУ им. <...> Н.Э.Баумана СТАБИЛИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ ПРИ ПРОИЗВОДСТВЕ И ЭКСПЛУАТАЦИИ Показана возможность корректировки топологии элементов и схемотехнической реализации микросхемы с использованием технологических и эксплуатационных погрешностей, что позволяет стабилизировать электрические параметры микросхемы. <...> Для стабилизации электрических параметров микросхем при производстве и эксплуатации предлагается метод корректировки микросхемы путем использования вводимого в нее переключающего элемента-переключателя. <...> Переключатели срабатывают автоматически под воздействием технологической или эксплуатационной погрешности. <...> В качестве переключателя могут быть использованы как пассивные, так и активные элементы микросхемы [1, 2]. <...> Здесь мы ограничимся рассмотрением в качестве иллюстрации метод с применением простейшего переключателя-зазора, пересекающего проводник микросхемы. <...> Помимо переключателя в микросхему вводятся участки микросхемы, подключение или отключение которых корректирует ее выходные электрические параметры (рис. <...> 36 Ширина зазора выбирается такой, что при увеличении размеров проводника в результате технологической (эксплуатационной) погрешности происходит его короткое замыкание, что приводит к подключению или отключению не только отдельных элементов схемы, но и ее участков. <...> При формировании топологии с использованием фоторезистивных масок короткие замыкания зазора-переключателя возможны из-за отклонения ширины фоторезистивного элемента от времени проявления и концентрации проявляющего раствора. <...> Зазор-переключатель может перекрываться не только при изготовлении (производственная погрешность), но и при эксплуатации микросхемы (эксплуатационная погрешность). <...> 3 ЭЛЕКТРОНИКА ЭЛЕКТРОНИКА М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru Рис. <...> Способы авторегулировки <...>