№ 6 УДК 621.315.592 ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДЕФОРМАЦИИ ПЛОСКИХ СЛОЕВ РАСТВОРИТЕЛЯ ПРИ ТЕРМОМИГРАЦИИ ЧЕРЕЗ КРЕМНИЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ 2013 г. Б.М. Середин, А.В. Благин Середин Борис Михайлович – канд. техн. наук, доцент, кафедра «Физика», Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова. <...> E-mail: bla_gin@mail.ru На основе рассмотрения теоретической модели и анализа экспериментальных исследований процесса термомиграции растворителя выявлены новые факты, обусловливающие деформацию первоначально планарной формы капилляра при получении композиций Si–Al–Si. <...> Степень деформации различна и зависит от ширины зазора, толщины исходных пластин, их диаметра, величины поверхностного натяжения зонообразующего материала и температуры процесса. <...> В работе предложены подходы к решению задачи устранения искажений планарной формы зоны при ее капиллярном формировании. <...> В частности, на стадии формирования композиции Si–Al–Si обнаружено искажение планарной формы зоны [4]. <...> В настоящей работе на основе рассмотрения теоретической модели и анализа экспериментальных исследований ставится задача поиска причины деформации кремниевых пластин и определения подходов к решению задачи устранения искажений первоначально планарной формы зоны при ее капиллярном формировании. <...> Рассмотрим исходную схему композиции, соответствующую базовому способу капиллярного втягивания [4]. <...> Способ предусматривает наличие двух кремниевых пластин: подложки и источника, совмещенных друг с другом с некоторым зазором. <...> Навеску зонообразующего материала устанавливают также на периферии композиции, обеспечивая контакт ее с кромкой кремниевого капилляра (рис. <...> Жидкие Al–Si зоны формируют в вакууме не выше 10-2 Па путем подъема рабочей температуры до 850 – 1050 °С и выдержки ее в течение 5 – 10 мин. <...> При этом навеска плавится, образуется квазиравновесный для рабочей температуры расплав Al–Si, который устремляется в кремниевый капилляр. <...> Для проведения <...>