УДК 621.315 СОСТОЯНИЕ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ РОСТОВОЙ ЯЧЕЙКИ ПОСЛЕ ПРОЦЕССА ЗОННОЙ СУБЛИМАЦИОННОЙ ПЕРЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЯ 2013 г. Г.В. Валов Южный научный центр РАН, г. Ростов-на-Дону South Scientific Center RAS, Rostov-on-Don Исследовано состояние внутренних поверхностей ростовой ячейки после зонной сублимационной перекристаллизации кремния. <...> Выявлены типы и характер распределения образующихся дефектов. <...> Анализ результатов исследований позволил оценить степень влияния остаточной газовой среды вакуумной камеры на качество получаемых слоев кремния. <...> Growing cell internal surfaces condition after silicon zone sublimation regrowth has been investigated. <...> Зонная сублимационная перекристаллизация (ЗСП) [1] является перспективным методом получения однородных слоев полупроводниковых материалов большой площади. <...> В простейшем случае метод ЗСП связан с использованием плоских взаимопараллельных пластин – сублимирующего источника, имеющего температуру T1, и подложки, имеющей температуру действуют с поверхностями зоны. <...> Результатом такого взаимодействия может являться образование разного рода дефектов, отрицательно влияющих на качество получаемого слоя. <...> Рассмотрим состояние внутренних поверхностей T2 < T1, разделенных вакуумным промежутком толщиной l. <...> Особенности и достоинства метода ЗСП реализуются при выполнении условий: R l 1 1; 0 1, (1) (2) где R – радиус подложки; λ0 – длина свободного пробега молекулы в вакуумной зоне. <...> Из выражений (1) и (2) следует, что вакуумный зазор при ЗСП должен быть по возможности максимально тонким, практически его величина должна составлять микрометры. <...> Область пространства, ограниченную близкорасположенными поверхностями источника и подложки, называют ростовой зоной, или микроразмерной ростовой ячейкой. <...> Массоперенос основного вещества в процессе ЗСП происходит в ростовой зоне, в результате чего ограничивающие зону поверхности постоянно эволюционируют. <...> Будучи помещенной в вакуумную камеру высокотемпературной <...>