Технические науки. 2011. ¹ 1 ЭЛЕКТРОМЕХАНИКА И ЭНЕРГЕТИКА УДК 621.3 BATCHMAG KONZEPTE FЬR VENTILE DER ZUKUNFT © 2011 г. <...> S. Rosenbaum, B. Goj, S. Нampl, L. Dittrich, T. Strцhla, M. Hoffmann Технический университет Ильменау, институт микро- и нанотехнологий MacroNano® Technische Universitat Ilmenau, Institut fь r Mikro- und Nanotechnologien MacroNano® BatchMags sind miniaturisierte Magnetventile, die durch ihre hochparallelisierte Fertigung und die dabei zum Einsatz kommenden Technologien zum einen ьber technologische Alleinstellungsmerkmale verfь gen, zum anderen kostengь nstig in groЯ en Stь ckzahlen hergestellt werden kц nnen. <...> Das Paper prд sentiert Konzepte, Vorteile und Anwendungsszenarien der vorgeschlagenen Technologie und zeigt so zukь nftige Mц glichkeiten der Ventiltechnik auf. <...> BatchMags are miniaturized electromagnetic valves that will be produced in a highly parallelized way. <...> Die Kostenverringerung durch Miniaturisierung, Integration und Batchfertigung bei gleichzeitiger Verbesserung der Zuverlд ssigkeit und des Funktionsumfangs fь hrte solche Chips zu groЯem Erfolg. <...> Im Ьbergangsbereich zur Mikromechatronik bietet es sich an, das Beste aus Feinwerktechnik und Mikrosystemtechnik zu kombinieren. <...> Von besonderer Bedeutung sind hier Ventile, die zukь nftig beispielsweise in der (Mikro-) Fluidik, Bioanalytik oder Mikroreaktionstechnik in groЯ er St ь ckzahl, aber sehr kleinen Abmessungen benц tigt werden. <...> Vollstд ndig neue Konzepte erц ffnen zukunftsweisende Mц glichkeiten: Von Einzelventilen mit einfach zu realisierenden Varianten bis hin zu ISSN 0321-2653 Известия вузов. <...> Stand von Wissenschaft und Technik Elektromagnetisch betд tigte Ventile ermцglichen hohe Verstellwege bei gleichzeitig hohen Krд ften. <...> Nachteilig bei der Miniaturisierung wirken sich die niedrige Energiedichte und die hohen Wд rmeverluste aus [2]. <...> Neben herkцmmlichen Fertigungsverfahren fьr Magnetventile wie Frд sen, Drehen und GieЯen haben sich <...>