12 компоненты датчики Инерциальные модули на базе МЭМС для построения морских систем ориентации и навигации следующего поколения Эрик УИТЛИ (Eric WHITLEY) Стивен КЛАРК (Stephen CLARKE) Юрий ПОНОМАРЁВ, к. т. н. <...> ponomarev@ranet.ru Вот уже более ста лет для ориентации и навигации морских судов и подводных лодок используются инерциальные датчики. <...> Любопытно, что этот прибор был создан Sperry Gyroscope Co. — компанией, которая до сих пор существует, но уже под именем Atlantic Inertial Systems, и ее совместным предприятием Silicon Sensing Systems. <...> Обе фирмы находятся в Англии, в приморском городе Плимуте, не только имеющем богатую историю, но и знаменитом разработками в области морских технологий. для контроля стабильности судна и полезной нагрузки, для управления, для определения местоположения и углов ориентации. <...> Каждая из таких систем являлась уникальным произведением искусства, собрать С тех давних времен гироскопы и акселерометры применяются для решения множества задач морской тематики — которую было под силу только профессиональному часовщику. <...> В настоящее время, при помощи инерциальных датчиков на базе микроэлектромеханических систем (МЭМС), компания Silicon Sensing создает сравнимые по характеристикам изделия, чья точность с каждым годом становится все выше, а размеры меньше. <...> Единственный вопрос, на который осталось ответить: каков предел точностных параметров, размеров и цен систем на базе МЭМСтехнологии и какие задачи выполняют эти системы сегодня и будут выполнять завтра. <...> Технология МЭМС-гироскопов и акселерометров берет начало из полупроводниковой индустрии. <...> Основным ее преимуществом является возможность изготовления сотен идентичных микроскопических механических структур из одной пластины кремния с помощью технологий фотолитографии и глубокого реактивного ионного травления (DRIE), каждая из этих структур впоследствии станет самостоятельным чувствительным элементом готового датчика. <...> В ходе изготовления на поверхности этих структур <...>