№ 2 УДК 621.9.048.7 ОКИСЛЕНИЕ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛЮМИНИЯ В СВЕРХВЫСОКОМ ВАКУУМЕ © 2014 г. О.Г. Ашхотов, И.Б. Ашхотова, Д.А. Крымшокалова Ашхотов Олег Газизович – доктор физико-математических наук, профессор, кафедра компьютерных технологий и интегральных микросхем, КабардиноБалкарский государственный университет, ул. <...> Ашхотова Ирина Борисовна – кандидат технических наук, доцент, кафедра компьютерных технологий и интегральных микросхем, Кабардино-Балкарский государственный университет, ул. <...> Крымшокалова Джульетта Абугалиевна – аспирант, инженер, кафедра компьютерных технологий и интегральных микросхем, Кабардино-Балкарский государственный университет, ул. <...> Ashkhotov Oleg Gasisovich – Doctor of Physical and Mathematical Science, Professor, Department of Computer Technologies and Integrated Circuits, Kabardino-Balkar State University, Chernishevskiy St., 173, Nalchik, KBR, 360004, Russia, e-mail: oandi@rambler.ru. <...> Ashkhotova Irina Borisovna – Candidate of Teсhnical Science, Associate Professor, Department of Computer Technologies and Integrated Circuits, Kabardino-Balkar State University, Chernishevskiy St., 173, Nalchik, KBR, 360004, Russia, e-mail: oandi@rambler.ru. <...> Krymshokalova Dzhul’etta Abugalievna – Post-Graduate Student, Engineer, Department of Computer Technologies and Integrated Circuits, Kabardino-Balkar State University, Chernishevskiy St., 173, Nalchik, KBR, 360004, Russia, e-mail: oandi@rambler.ru. <...> Рассмотрены проблемы, связанные с получением атомарно-чистой поверхности поликристаллического алюминия, его типичные электронные оже-спектры, а также изучено влияние кислорода остаточной сверхвысоковакуумной среды и электронного зонда на состояние поверхности поликристаллического алюминия. <...> Установлено, что на атомарно-чистую поверхность алюминия не только мигрирует кислород с необработанных участков образца с оксидным слоем, но и происходит его электронностимулированная адсорбция из остаточной газовой среды сверхвысокого вакуума. <...> Был проведен оже-анализ чистой поверхности алюминия при низком парциальном давлении кислорода ~ 10–9 Торр и показано, что в условиях сверхвысокого вакуума происходит окисление поверхности алюминия. <...> The problems associated with obtaining an atomically clean surface of polycrystalline aluminum, its typical Auger electron spectra, as well as the <...>