Т 56 (5) ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2013 УДК 546.26:539.216 Д.М. Седловец*, А.Н. Редькин*, В.И. Корепанов*, Г.В. Бондаренко** ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ВОДНО-СПИРТОВЫХ СМЕСЕЙ (*Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, **Институт экспериментальной минералогии РАН) e-mail: sedlovets@iptm.ru, arcadia@iptm.ru, korepanov@iptm.ru, bond@iem.ac.ru Описан простой, дешевый и безопасный метод получения тонких углеродных пленок. <...> Возможность получать графеноподобные структуры на диэлектриках, минуя стадию переноса с поверхности металла, имеет важное практическое значение. <...> Основной задачей данной работы было исследование влияния добавок воды на процесс осаждения углерода из паров этанола, а также на свойства полученных пленок. <...> Изучены оптические и электрические характеристики материала, получены спектры комбинационного рассеяния. <...> Ключевые слова: углерод, тонкие пленки, газофазный синтез, водно-спиртовые смеси ВВЕДЕНИЕ графита впервые был получен монослой sp2гибридного углерода [1], что придало новый импульс исследованиям в области углеродных наноматериалов. <...> На волне общего интереса к синтезу графена в последнее время появились работы, в которых в качестве исходного реагента для осаждения графеновых пленок использовался этанол. <...> Так в [2] тонкие углеродные пленки получены на медной подложке в пламени спиртовой горелки. <...> В [3] проводилось осаждение углеродной пленки из паров этанола на никелевую подложку. <...> Авторы [4] установили, что графеновая пленка, синтезированная из паров этанола, содержит некоторое количество карбоксильных групп и имеет p-тип проводимости. <...> Проведено также сравнение углеродных пленок, синтезированных из паров пентана и этанола [5]. <...> Показано, что этанол является более предпочтительным реагентом, поскольку позволяет получить графеновую пленку лучшего качества. <...> Считается, что активную роль в процессе осаждения углеродных наноматериалов <...>