40 ЭЛЕКТРОННЫЕ, ИОННЫЕ И ЛАЗЕРНЫЕ ПУЧКИ УДК 621.384.5, 537.533 Электронно-лучевое испарение керамики в форвакуумном диапазоне давлений А. С. Климов, А. А. Зенин, Е. М. Окс, М. В. Шандриков, Ю. Г. Юшков С использованием форвакуумного плазменного источника электронов осуществлен процесс электронно-лучевого испарения алюмооксидной керамики в диапазоне давлений 5—15 Па. <...> При плотности мощности электронного пучка 103 Вт/см2 скорость испарения керамики составляла 4 г/ч. <...> Полученные результаты открывают возможность эффективного нанесения керамических покрытий на основе электронно-пучковых методов. <...> Tb Ключевые слова: испарение керамики, электронный пучок, плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений. <...> Введение Форвакуумные плазменные источники элекЭлектронно-лучевое испарение диэлектриков для последующего нанесения покрытий связано с рядом трудностей, основная из которых состоит в зарядке поверхности электронами пучка [1, 2] и образованием тормозящего для электронов электрического поля. <...> Процесс испарения, как правило, осуществляют в вакууме при давлении 10-2—10-4 Па, что связано с использованием электронных пушек с термокатодом [3], критичных к величине давления и составу газовой атмосферы. <...> При работе в таком диапазоне давлений необходимо принятие специальных мер по предотвращению зарядки облучаемой поверхности и снятия отрицательного заряда. <...> В качестве такой меры может быть использован дополнительный поток ионов на испаряемую поверхность [4], что, однако, приводит к усложнению технологической установки. <...> 1 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. <...> Статья поступила в редакцию 7 апреля 2016 г. © Климов А. С., Зенин А. А., Окс Е. М., Шандриков М. В., Юшков Ю. Г., 2016 тронов [5, 6] обеспечивают возможность непосредственной генерации пучков в области повышенных давлений форвакуумного диапазона 1— 100 Па. <...> Переход в область более высоких давлений, способствующих созданию в области <...>