96 Прикладная физика, 2016, № 1 Физическая аппаратура и её элементы УДК 533.9.082.74 Мониторинг масс-зарядового состава пучковой плазмы модернизированным квадрупольным анализатором в форвакуумной области давлений А. В. Тюньков, Ю. Г. Юшков, А. С. Климов Представлена конструкция и принцип работы модернизированного квадрупольного анализатора остаточной атмосферы. <...> Модернизация анализатора заключалась в замене ионизатора устройства на извлекающий ионы узел. <...> Учитывая особенности генерации пучковой плазмы и специфику форвакуумного диапазона давлений данная замена в сочетании с подачей на коллектор электронного пучка положительного относительно земли потенциала позволила проводить мониторинг масс-зарядового состава такой плазмы. <...> Показаны результаты исследований масс-зарядового состава ионов пучковой плазмы различных газов, генерируемой непрерывным электронным пучком с током порядка 30 мА при давлении в области его распространения до 10 Па. <...> Установлено, что в пучковой плазме генерируемой форвакуумным электронным источником наблюдаются только однократно ионизованные атомы напускаемых и остаточных газов независимо от энергии и тока электронного пучка. <...> Ds Ключевые слова: плазменный источник электронов, форвакуумная область давлений, диагностика пучковой плазмы, масс-зарядовый состав ионов плазмы. <...> Введение Измерение масс-зарядового состава ионов плазмы, создаваемой электронным пучком в форвакуумной области давлений (1—100 Па) [1], имеет важное практическое значение, поскольку такая плазма может являться универсальным и эффективным «инструментом» для осуществления процессов обработки поверхности [2] или реализации разнообразных плазмохимических реакций. <...> Вместе с тем, масс-спектрометрические измерения пучковой плазмы в указанных условиях имеют свою специфику. <...> Именно поэтому применение стандартного масс-спектрометрического оборудования для измерения состава такой плазмы затруднено. <...>