Прикладная физика, 2016, № 1 49 Физика плазмы и плазменные методы УДК 535.8 Образование поверхностных медно-углеродных микроструктур при распылении составной графитово-медной мишени магнетронным способом С. И. Валянский, С. В. Виноградов, М. А.Кононов, В. М. Кононов, С. Ф. Растопов В данной работе представлены результаты применения магнетронной распылительной системы. <...> Методом магнетронного распыления составной графитово-медной мишени получены поверхностные медно-углеродные структуры и выявлены условия их образования. <...> Приведены характерные изображения структур на подложке, полученные с помощью атомно-силовой микроскопии. <...> Показано, что на эффективность процесса распыления, кроме конструкции магнетрона и мишени, во многом влияют условия эксперимента. <...> В работе экспериментально подобрана плотность потока распылённых атомов на подложку, температура мишени и подложки, давление аргона. <...> Найдено, что подобные структуры не образуются без промежуточного металлического слоя. <...> Например, давно известный и надежный метод получения ацетиленидов меди восстановлением солянокислым гидроксиламином аммиачных растворов хлорида, сульфата или нитрата Сu или образование и рост ацетиленидов при термическом разложении углеводородов [1, 2] . <...> E-mail: mike@kapella.gpi.ru Статья поступила в редакцию 23 ноября 2015 г. © Валянский С. И., Виноградов С. В., Кононов М. А., Кононов В. М., Растопов С. Ф., 2016 тальное исследование возможности получения медно-углеродных структур методом магнетронного напыления. <...> Методика проведения эксперимента В общем виде схема эксперимента заключалась в следующем: магнетроном распылялась графитовая мишень с вставками меди. <...> Ввиду того что коэффициент распыления графита меньше, чем коэффициент распыления меди (С-0,12 Cu-2,4), то экспериментальным путем было установлено отношение распыляемой поверхности обоих материалов для получения стехиометрического состава 2:2 [3]. <...> На очищенную и обработанную высокочастотной плазмой <...>