Оптические покрытия используются практически во всей современной оптике, и качество их производства напрямую зависит от оптического контроля прогнозирования момента остановки напыления слоя. <...> Рассматривается обратная задача определения толщины напыленных слоев по данным монохроматического контроля. <...> Решение подобной задачи позволяет устранять систематические ошибки в системе напыления и как следствие увеличивать качество изготовляемых покрытий. <...> В данной работе поставленную задачу предлагается решать методом минимизации функционала невязки, этот метод сравнивается с используемым ранее в этой области методом определения толщины слоев по положению экстремумов. <...> Для сравнения эффективности различных методов было проведено моделирование входных данных, учитывающее как ошибки измерения, так и неравномерность напыления. <...> После этого к данным применили рассмотренные методы и был сделан вывод о том, что метод минимизации функционала невязки численных производных сигнала по времени дает заметно лучший результат и, следовательно, может быть эффективно применен в практике. <...>