Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Казанский государственный технологический университет» Сагбиев И. Р. <...> ВЧ ПЛАЗМЕННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ препринт Казань КГТУ 2007 УДК 621.7 И.Р. Сагбиев. <...> ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. <...> В работе представлены результаты модификации поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. <...> Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной модификации поверхности материалов от входных параметров плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической неравновесности. <...> Установлено, что плазменная модификация поверхности пленок позволяет улучшить их электрофизические и физикомеханические свойства, а также уменьшать неровности их поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза. <...> М.С.Пешкова © И.Р. Сагбиев,2007 © Казанский государственный технологический университет,2007 ВЧ ПЛАЗМЕННАЯ МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ И ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В работе представлены результаты модификации таких диэлектриков, как поликор, ситалл, сапфир, стекла различных марок (KB, K8, силикатные), кварц, пирекс, галлийгадолиниевый гранат, искусственный алмаз, полиэтилен. <...> Порошки искусственного алмаза применяются для изготовления инструмента (алмазированные медицинские алмазированного боры, алмазированный обрабатывающий инструмент, специальный инструмент для алмазного полирования). <...> Материалы и методики исследования взаимодействия плазмы Обработка материалов проводилась на установке, описанной в [1]. <...> Характеристики плазменного воздействия определяли по методикам, представленным в работе [1]. <...> Эффективность очистки порошка искусственного алмаза контролировалась с <...>
ВЧ_плазменная_модификация_поверхности_диэлектрических_материалов_и_тонкопленочных_покрытий._Препринт.pdf
УДК 621.7
И.Р. Сагбиев. ВЧ плазменная модификация поверхности
диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий.
Казань, 2007. 29 с. ( Препринт / Казан. гос. технол. ун-т)
В работе представлены результаты модификации
поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных
покрытий.
Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной
модификации поверхности материалов от входных параметров
плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и
плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической
неравновесности.
Установлено, что плазменная модификация поверхности
пленок позволяет улучшить их электрофизические и физикомеханические
свойства, а также уменьшать неровности их
поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза.
Ил. 8, табл.2.
Рецензенты: д.т.н. В.В.Хамматова
к.т.н. М.С.Пешкова
© И.Р. Сагбиев,2007
© Казанский государственный
технологический университет,2007
Стр.2