УДК 81.29.14
Методика расчета откачной характеристики
кинетического высоковакуумного насоса
© К.Е. Демихов, А.М. Макаров, Н.К. Никулин, Е.В. Cвичкарь
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
В статье представлен подход к расчету откачной характеристики кинетического вакуумного насоса для молекулярного режима течения газа. <...> Расчет основывается на основных допущениях для молекулярно-кинетической теории газов: распределение молекул по скоростям теплового движения описывается распределением Максвелла, взаимодействие между молекулами газа отсутствует, взаимодействие между поверхностью твердого тела и молекулами газа описывается
диффузным законом отражения, коэффициент аккомодации равен единице. <...> Использование методов прямого статистического моделирования для расчета откачных параметров элементов проточных частей и аналитические зависимости,
связывающие их совместную работу, позволили значительно сократить время расчета, не снижая его точности и не искажая физики процесса откачки. <...> Представленные математические зависимости позволяют проводить расчет существующих
кинетических высоковакуумных насосов (турбомолекулярных, молекулярных и комбинированных турбомолекулярных с молекулярными ступенями) с учетом влияния
всасывающего патрубка и перетеканий в проточных частях насосов. <...> Ключевые слова: молекулярный насос, турбомолекулярный насос, кинетический
насос, статистическое моделирование, вероятность, проводимость, быстрота
действия, давление, молекула. <...> К кинетическим вакуумным насосам относятся турбомолекулярные (ТМН), молекулярные (МВН) и комбинированные турбомолекулярные с молекулярной ступенью вакуумные насосы [1]. <...> По своему
принципу действия эти насосы эффективно работают в области молекулярного режима течения газа. <...> В области вязкостного режима течения газа откачной эффект этих насосов пренебрежимо мал [2−5],
например, для ТМН-500 максимальное отношение давлений по азоту
в молекулярном <...>