УДК 535.51; 621.382
Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света
оптически одноосным двумерным кристаллом <...> Представлен лазерный хoлoэллипсoметр практически нoрмального рассеяния света образцом оптически одноосного двумерного кристалла. <...> Устройство позволяет получать в реальном времени полный набор требуемых параметров оптически прозрачного образца для реализации мониторинга создания и обработки двумерных кристаллов, используемых в
качестве элементной базы в высоких технологиях. <...> Эффективные средства реализации мониторинга создания и обработки двумерных кристаллов (ДК) необходимы высоким технологиям
нашего времени [1—3]. <...> Двумерные кристаллы — квантовые образования тoлщиной 10…100 нм заметно меньшей других размеров [2]. <...> Важным для нанотехнологий является
монитoринг ДК регистрацией поляризованного рассеянного света [5] от
оптически анизотропных одноосных ДК, причем весьма удачную его
реализацию может предоставить развиваемая авторами данной статьи
холоэллипсометрия со всеми ее аппаратными средствами [6, 7]. <...> Лазерный холоэллипсометр почти нормального рассеяния
света оптически одноосным двумерным кристаллом (оптическая
схема и рабочие связи между элементами устройства). <...> Вариант
схемотехнической и функциональной организации лазерного устройства для анализа поляризации рассеянного света, известного в зарубежной научной литературе как скаттерометр [8], представлен оптической схемой на рисунке в аспекте развиваемых нами неинтерференционных холоэллипсометров [6]. <...> 2013
1
КП
Оптическая схема лазерного холоэллипсометра практически нормального рассеяния света образцом оптически одноосного двумерного кристалла:
Л — источник света (лазер); СД — входной светоделитель; ФПi — фотоприемник
отклоняемого СДi пучка света; БМП — бинарный модулятор поляризации света <...> [9]; З1,2 — зеркала; S — образец; К — коллиматор; С — компенсатор; СДе — выходной светоделитель; ПСД1,2 — поляризационные светоделители на пути <...>