водит к изменению электрокаталитической активности комплексов, что проявляется в смещении потенциала полуволны процесса ионизации дикислорода ( Е ) в область положительных значе1 2 О 2 / ний. <...> Наиболее эффективными катализаторами из исследованных металлопорфиринов были СoT(4ClPh)P, СoT(4-ОНPh)P, (ОPhТАР)Сo. <...> Изменение электрокаталитической активности соединений в исследованных группах происходит в следующей последовательности: для тетрафенилпроизводных: СoT(4-OHPh)P > СoT(4-ClPh)P > СoT(4-IPh)P > > СoT(4-NO2Ph)P. для октафенилпроизводных: (OPhТАP)Сo > (ОBrOPhТАP)Сo > (ОClOPhТАP)Сo. <...> Внутрициклические изменения за счет введения атомов азота в порфириновый цикл приводят к снижению электрокаталитической активности соединений при переходе от моно- к диазапроизводным. <...> Кафедра аналитической химии УДК 537.525 А.М. Ефремов, А.В. Юдина, В.И. Светцов ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСИ HCl/Ar (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: efremov@isuct.ru Проведен модельный анализ влияния начального состава смеси HCl/Ar на стационарные параметры плазмы (приведенная напряженность электрического поля, энергетическое распределение электронов, константы скоростей процессов под действием электронного удара) и концентрации заряженных частиц в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> Ключевые слова: плазма, моделирование, скорость, концентрация ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная газоразрядная плазма бинарных смесей хлорсодержащих газов (Cl2, BCl3, HCl) с аргоном нашла применение в технологии микро- и наноэлектроники при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев [1, 2]. <...> Одним из основных недостатков BCl3 является высаживание твердых продуктов плазмохимических реакций на стенках реХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ 2011 том 54 вып. <...> Использование Cl2 осложнено значительной коррозионной активностью и высокими степенями диссоциации [3], затрудняющими <...>