УДК 537.525 А.А. Смирнов, А.М. Ефремов, В.И. Светцов ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ В СМЕСЯХ HBr-Ar И HBr-He ПЕРЕМЕННОГО СОСТАВА (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: efremov@isuct.ru Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей HBr-Ar и HBr-He на стационарные параметры плазмы тлеющего разряда постоянного тока (р=30–120 Па, ip= 20 мА). <...> Получены расчетные данные по энергетическим распределениям электронов, интегральным характеристикам электронного газа и концентрациям заряженных частиц. <...> Ключевые слова: HBr, плазма, моделирование, скорость, концентрация ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная газоразрядная плазма бинарных смесей галогенводородов HX (X=Cl, Br, I) с благородными газами находит применение при проведении процессов «сухого» травления функциональных слоев интегральных микросхем в технологии микро- и наноэлектроники [1]. <...> Например, плазмообразующие смеси на основе HBr обеспечивают более высокую анизотропию травления моно- и поликристаллического кремния, а также более высокую селективность процесса по отношению к SiO2, Si3N4 и органическим фоторезистам, по сравнению с традиционно используемыми хлор- и фторсодержащими газами [2, 3]. <...> Тем не менее, достоинства многих бинарных систем, в том числе смесей HBr с аргоном или гелием, не используются в полной мере из-за слабой изученности механизмов физико-химических процессов, формирующих стационарный состав и параметры плазмы. <...> Ранее было показано, что добавка благородного газа к химически активному газу (например, к Cl2 [4], BCl3 [5] или HCl [6]) не ограничивается ролью инертного разбавителя, а оказывает влияние на кинетику плазмохимических процессов через изменение электрофизических параметров плазмы. <...> Целью данной работы являлся модельный анализ этих вопросов применительно к плазме HBr-Ar и HBr-He в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> МЕТОДИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ шестикомпонентном (HBr/H/Br/H2/Br2/Х, Моделирование плазмы проводилось в где Х=Ar или He <...>