Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления (290,00 руб.)

И.Р. САГБИЕВ, М.Ф. ШАЕХОВ МОДИФИКАЦИЯ НАНОСЛОЕВ В ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ Монография Казань, 2007 УДК 533.9:620.5 ББК 22.333 А13 Модификация нанослоев в высоко-частотной плазме пониженного давления: Монография /И.Ш. Абдуллин, В.С. Желтухин, И.Р. Сагбиев, М.Ф. Шаехов; Казан. гос. технол. ун-т. <...> Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. <...> Предназначена для широкого круга специа-листов и научных работников, занимающихся вопро-сами физики низкотемпературной плазмы, а также преподавателей, аспирантов и студентов технических вузов. <...> 2007 СПИСОК ОСНОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ И СОКРАЩЕНИЙ Условные обозначения B b = B/ B c Da D Di,e e E EB, EП – вектор магнитной индукции – единичный вектор, параллельный вектору B – – – – – – – E= E – Eϕ – ER – Ei – H – H z , Hϕ – i – Iинд – j, j – ks – me – скорость света коэффициент амбиполярной диффузии вектор электрического смещения коэффициенты диффузии ионов и электронов заряд электрона вектор напряженности электрического поля вихревая и потенциальная составляющие вектора напряженности электрического поля модуль вектора напряженности электрического поля азимутальная составляющая вектора напряженности электрического поля значение напряженности электрического поля на стенке разрядной камеры энергия ионизации вектор напряженности магнитного поля аксиальная и азимутальная составляющие вектора напряженности магнитного поля мнимая единица ток индуктора вектор плотности тока и абсолютное значение плотности тока коэффициент распыления масса электрона 3 ne, ni p Pпотр Pp Pc Qуд r Ra t – – – – – – – – – t tобр tохл Ta, Ti Te Uа – – – – – – UЭ – v – vi,e – va – z – γ e,i – Гe,i – δ – концентрации электронов и ионов статическое давление газа мощность, потребляемая от сети всей установкой мощность, вкладываемая в разряд <...>