Физико-технические основы устройств микроэлектроники (190,00 руб.)

И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ С А М А Р А 2008 ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ ГОСУДАРСТВЕННОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ ”САМАРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ АЭРОКОСМИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ имени академика С. П. КОРОЛЕВА” <...> И.Н. ЕРЕМИНА, А.Г. САНОЯН ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебно-методического пособия САМАРА Издательство СГАУ 2008 УДК 621. <...> ISBN 978-5-7883-0662-9 В пособии изложены теоретические положения и физико-технические методы анализа параметров физических сред и элементов конструкций, используемых в конструкторско-технологической практике создания микроэлектронных устройств. <...> МЕТОДЫ СТАТИСТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ, ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ В КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ПРАКТИКЕ СОЗДАНИЯ УСТРОЙСТВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ…………………. <...> 1.1 Физическая сущность статистического метода анализа макроскопических систем…………………………………………….. <...> 1.4 Динамическое равновесие элементарных процессов в макроскопических системах…………………………………………... <...> 1.5 Определение срока службы изделий на основе статистических методов физической надежности………………………… 1.6 Специфика протекания термоактивационных процессов в условиях внешних силовых воздействий. <...> 1.7.1 Определение концентрации активных частиц, ответственных за протекание элементарных физико-химических процессов……………………………………………… 1.7.2 Статистический анализ физико-химических процессов, используемых в технологической практике создания элементов электронных устройств………………………. <...> 2 КОНТАКТНЫЕ И ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ В ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ СТРУКТУРАХ………………………………………….. <...> 3 ЭНТРОПИЙНЫЕ МЕТОДЫ И ПОКАЗАТЕЛИ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОТЕХНОЛОГИЙ <...>